> Produk > Keramik > Silikon Karbida (SiC) > Dayung Kantilever Keramik Silikon Karbida

Produk

produk baru

Dayung Kantilever Keramik Silikon Karbida

Dayung kantilever keramik silikon karbida semicorex adalah komponen struktur kantilever berkinerja tinggi, yang dibuat secara presisi dari silikon karbida dengan kemurnian tinggi. Dayung kantilever keramik silikon karbida kami adalah solusi optimal untuk membawa dan mengangkut wafer, yang dirancang khusus untuk fabrikasi wafer semikonduktor dan produksi sel fotovoltaik yang canggih.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Semicorexdayung kantilever keramik silikon karbidadiproduksi dengan sintering suhu tinggi pada bodi hijau cetak 3D satu langkah, diikuti dengan perlakuan pelapisan melalui pengendapan uap kimia. Selama pengoperasian sebenarnya, dayung kantilever keramik silikon karbida digerakkan oleh sistem otomasi mekanis untuk memindahkan komponen pembawa wafer dengan lancar dan stabil ke dalam dan ke luar peralatan pemrosesan suhu tinggi (seperti tungku oksidasi, tungku difusi, tungku CVD, dll.). Komponen silikon karbida ini dapat secara efektif memastikan keakuratan konsentrisitas antara wafer dan tabung tungku, sehingga menjamin keseragaman dan stabilitas proses selama proses penting seperti difusi, oksidasi, dan pengendapan uap kimia.

Kinerja Dayung Kantilever Keramik Silikon Karbida Semicorex

1. Kinerja polusi rendah:

Semicorexsilikon karbidadayung kantilever keramik, diproses dengan perawatan presisi tinggi, mencapai standar bebas debu dan bebas partikel. Matriksnya memiliki kandungan pengotor yang dikontrol secara ketat di bawah 300PPM, dan kandungan pengotor lapisan silikon karbida CVD bahkan lebih rendah dari 5PPM.

2. Stabilitas suhu tinggi:

Karena ketahanan suhu tinggi yang sangat baik dan ketahanan guncangan termal dari silikon karbida, dayung kantilever keramik silikon karbida Semicorex dapat mempertahankan stabilitas strukturalnya dalam waktu lama pada suhu tinggi hingga 1250°C, tanpa mengalami deformasi, pelunakan, atau kerusakan yang disebabkan oleh suhu tinggi.

3. Kapasitas beban luar biasa:

Dayung kantilever keramik silikon karbida Semicorex memberikan kapasitas beban yang luar biasa berkat desain strukturalnya yang unik dan sifat materialnya yang unggul (kekuatan dan kekerasan mekanik yang tinggi). Kapasitas muatan yang luar biasa ini memungkinkan mereka menahan beban wafer dalam jumlah besar untuk memenuhi kebutuhan produksi massal, yang secara efektif meningkatkan efisiensi pemrosesan batch wafer.

4. Ketahanan korosi yang luar biasa:

Dayung kantilever keramik silikon karbida semicorex menunjukkan ketahanan korosi yang sangat baik terhadap oksigen, klorin, dan zat korosif lainnya yang ada pada suhu tinggi dalam proses manufaktur semikonduktor dan fotovoltaik. Kinerja unggul ini sangat penting untuk memastikan kelancaran proses produksi dengan menghindari kerugian dan waktu yang disebabkan oleh kerusakan pada dayung kantilever keramik silikon karbida.