Keramik silikon karbidadayung biasanya dipasang di dekat bukaan tungku atau ruang proses, dengan salah satu ujungnya dipasang dan ujung lainnya memanjang ke dalam tungku atau ruang proses. Selama pengoperasian pemrosesan, dayung keramik silikon karbida secara tepat memposisikan pembawa wafer yang membawa wafer di lokasi yang ditentukan di dalam tungku atau ruang proses. Setelah diproses, dayung kantilever mengambil pembawa dan memindahkannya keluar dari tungku atau ruang dan menyerahkannya ke lengan robot untuk tahap penanganan selanjutnya.

Keunggulan dayung keramik silikon karbida Semicorex

1. Sifat unggul dan kualitas yang dapat diandalkan

Dayung keramik silikon karbida Semicorex memberikan stabilitas suhu tinggi yang sangat baik, kekuatan tinggi, kekerasan tinggi, stabilitas kimia, dan koefisien ekspansi termal yang rendah. Dengan sifat-sifat unggul ini, dayung keramik silikon karbida Semicorex dapat bertahan lama dalam kondisi pengoperasian yang menantang, seperti suhu tinggi, korosi parah, beban berat, dan pengoperasian mekanis yang sering.

2. Pendukung dan pengangkutan yang tepat

Mengandalkan kinerja pendukung dan pengangkutan yang sangat baik, Semicorexdayung keramik silikon karbidadapat secara akurat memasang pembawa wafer di tempatnya untuk memastikan konsentrisitas wafer relatif terhadap tabung tungku, yang secara signifikan mengurangi inkonsistensi proses yang disebabkan oleh guncangan wafer dan ketidaksejajaran selama proses.

3. Operasi otomatis yang sangat efisien

Dayung keramik silikon karbida semicorex biasanya bekerja bersama dengan sistem pemuatan dan penanganan otomatis robot untuk mencapai pemuatan dan pembongkaran wafer dengan cepat. Hal ini secara signifikan memperpendek siklus proses dalam manufaktur semikonduktor dan fotovoltaik, meningkatkan efisiensi produksi, dan mengurangi biaya pengoperasian manual dan risiko kesalahan.

Penerapan dayung keramik silikon karbida Semicorex

1. Pembuatan sel fotovoltaik

Dayung keramik silikon karbida semicorex sangat cocok untuk proses termal sel fotovoltaik, seperti difusi, LPCVD, dan PECVD sel TOPCon dan PERC. Dengan mencapai keseragaman dan stabilitas proses, dayung ini berkontribusi pada peningkatan efisiensi konversi sel fotovoltaik.

2. Pembuatan chip semikonduktor

Berdiri sebagai komponen pendukung dan pengangkutan yang penting, dayung keramik silikon karbida Semicorex diterapkan secara luas dalam proses seperti litografi, etsa, dan deposisi selama pembuatan chip semikonduktor, memungkinkan transfer yang stabil secara konstan dan penempatan wafer yang tepat.