> Produk > Keramik > Silikon Karbida (SiC) > Perahu Wafer Keramik Silikon Karbida

Produk

produk baru

Perahu Wafer Keramik Silikon Karbida

Semicorex menyediakan perahu wafer, alas, dan pembawa wafer khusus untuk konfigurasi vertikal/kolom dan horizontal. Kami telah menjadi produsen dan pemasok film pelapis silikon karbida selama bertahun-tahun. Perahu wafer keramik silikon karbida kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup sebagian besar pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Perahu wafer keramik silikon karbida Semicorex, solusi terbaik untuk penanganan dan perlindungan wafer dalam manufaktur semikonduktor.
Perahu wafer keramik silikon karbida kami terbuat dari bahan berkualitas tinggi yang dilapisi dengan lapisan silikon karbida (SiC) menggunakan metode CVD, yang memiliki ketahanan yang baik terhadap korosi dan ketahanan yang sangat baik terhadap suhu tinggi dan guncangan termal. Keramik canggih memberikan ketahanan termal dan daya tahan plasma yang sangat baik sekaligus memitigasi partikel dan kontaminan untuk pembawa wafer berkapasitas tinggi.

Parameter perahu wafer keramik silikon karbida

Properti Teknis
Indeks	Satuan	Nilai
Nama Bahan		Reaksi Silikon Karbida Sinter	Silikon Karbida Sinter Tanpa Tekanan	Silikon Karbida yang Dikristalisasi Ulang
Komposisi		RBSiC	SSiC	R-SiC
Kepadatan Massal	gram/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Kekuatan Lentur	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Kekuatan Tekan	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kekerasan	Tombol	2700	2800	/
Melanggar Kegigihan	MPa m1/2	4.5	4	/
Konduktivitas Termal	W/m.k	95	120	23
Koefisien Ekspansi Termal	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Panas Spesifik	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Suhu maksimum di udara	℃	1200	1500	1600
Modulus Elastis	IPK	360	410	240

Perbedaan antara SSiC dan RBSiC:

1. Proses sintering berbeda. RBSiC adalah menyusupkan Si bebas ke dalam silikon karbida pada suhu rendah, SSiC dibentuk oleh penyusutan alami pada 2100 derajat.

2. SSiC memiliki permukaan yang lebih halus, kepadatan lebih tinggi, dan kekuatan lebih tinggi, untuk beberapa penyegelan dengan persyaratan permukaan yang lebih ketat, SSiC akan lebih baik.

3. Waktu penggunaan yang berbeda pada PH dan suhu yang berbeda, SSiC lebih panjang dari RBSiC

Fitur Perahu Wafer Keramik Silikon Karbida

Ketahanan panas yang unggul & keseragaman termal
Kristal SiC halus dilapisi untuk permukaan halus
Daya tahan tinggi terhadap pembersihan kimia
Bahan dirancang agar tidak terjadi keretakan dan delaminasi.