Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen keramik SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari suku cadang habis pakai untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti perahu wafer Silicon Carbide, dayung kantilever, tabung, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Dayung Kantilever →
Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD selama proses seperti difusi dan RTP.
Tabung Proses →
Process Tube adalah komponen penting, dirancang khusus dalam berbagai aplikasi pemrosesan semikonduktor seperti RTP, difusi.
Perahu Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemrosesan semikonduktor, telah dirancang dengan cermat untuk memastikan wafer halus tetap aman selama tahap kritis produksi.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC oleh peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated benar-benar stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Semicorex juga memiliki produk keramik Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Keramik Komposit, dll.
Semicorex SiC Fine Powder adalah bubuk ultra-halus berkualitas tinggi yang terkenal dengan kemurnian luar biasa dan distribusi ukuran partikel yang terkontrol. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanDibangun dari silikon karbida dengan kemurnian luar biasa, Perahu SiC Kemurnian Tinggi Semicorex menunjukkan stabilitas termal yang unggul, ketahanan mekanis, dan ketahanan terhadap bahan kimia. Pemilihan material ini sangat penting untuk mengurangi potensi kontaminasi, melindungi wafer dari bahaya, dan bertahan dalam kondisi sulit yang dihadapi dalam fabrikasi semikonduktor. Komitmen Semicorex untuk memproduksi dan memasok produk-produk berkualitas terdepan di pasar, dipadukan dengan pertimbangan fiskal yang kompetitif, memperkuat keinginan kami untuk membangun kemitraan dalam memenuhi kebutuhan pengangkutan wafer semikonduktor Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanDibuat dari silikon karbida dengan kemurnian luar biasa, Semicorex SiC Boat untuk Penanganan Wafer menawarkan konstruksi yang mencakup slot presisi untuk mengamankan wafer, mengurangi pergerakan apa pun selama prosedur operasional. Pemilihan silikon karbida sebagai bahan memastikan tidak hanya kekerasan dan ketahanan tetapi juga kemampuan untuk menahan suhu tinggi dan paparan bahan kimia. Hal ini menjadikan Perahu SiC untuk Penanganan Wafer sebagai komponen penting dalam berbagai tahapan produksi semikonduktor, seperti budidaya kristal, difusi, implantasi ion, dan proses etsa.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPemanas Semicorex PBN/PG (Pyrolytic Boron Nitride/Pyrolytic Graphite) direkayasa dari bahan keramik Boron Nitrida canggih, dibuat dengan cermat untuk menahan suhu ekstrem melebihi 1700°C. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanChuck Pemanas PBN Semicorex, dibuat dari keramik Boron Nitrida, berada di garis depan solusi manajemen termal mutakhir. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Pyrolytic Boron Nitride Heaters mewakili puncak kinerja dan keandalan dalam bidang aplikasi suhu tinggi. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan