Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen keramik SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari suku cadang habis pakai untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti perahu wafer Silicon Carbide, dayung kantilever, tabung, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Dayung Kantilever →
Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD selama proses seperti difusi dan RTP.
Tabung Proses →
Process Tube adalah komponen penting, dirancang khusus dalam berbagai aplikasi pemrosesan semikonduktor seperti RTP, difusi.
Perahu Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemrosesan semikonduktor, telah dirancang dengan cermat untuk memastikan wafer halus tetap aman selama tahap kritis produksi.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC dengan peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated sangat stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Semicorex juga memiliki produk keramik Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Keramik Komposit, dll.
Alumina Boat oleh Semicorex menemukan ceruknya di industri semikonduktor, permesinan umum, dan proses suhu tinggi, terbukti sangat diperlukan bagi para profesional yang mencari keandalan dan presisi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat Keramik Semicorex SiC menawarkan kinerja tak tertandingi di lingkungan yang memerlukan ketahanan aus, ketahanan korosi, dan stabilitas suhu tinggi. Produk ini dirancang untuk digunakan sebagai pelat pelapis dan komponen pendukung di berbagai aplikasi yang menuntut.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCakram Keramik Semicorex AlN menonjol sebagai material dengan kemampuan luar biasa, dihargai karena kombinasi unik antara sifat termal, mekanik, dan listrik. Di Semicorex, kami berada di garis depan dalam pembuatan Cakram Keramik AlN, memastikan bahwa komponen-komponen ini memenuhi tuntutan ketat teknologi modern dan aplikasi industri.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSelongsong Si3N4 dari Semicorex adalah material serbaguna dan berkinerja tinggi yang menawarkan kombinasi unik antara kepadatan rendah, kekerasan unggul, ketahanan aus luar biasa, serta stabilitas termal dan kimia luar biasa.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanFungsi utama Chuck Vakum Keramik Berpori Semicorex terletak pada kemampuannya untuk memberikan permeabilitas udara dan air yang seragam, sebuah fitur yang memastikan pemerataan tekanan dan daya rekat wafer silikon yang kuat. Karakteristik ini sangat penting selama proses penggilingan, karena mencegah wafer tergelincir, sehingga menjaga integritas pengoperasian.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Alumina Tube adalah komponen penting dalam berbagai aplikasi industri, terkenal karena kemampuannya menahan lingkungan yang keras dan suhu tinggi.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan