Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen keramik SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari suku cadang habis pakai untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti perahu wafer Silicon Carbide, dayung kantilever, tabung, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Dayung Kantilever →
Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD selama proses seperti difusi dan RTP.
Tabung Proses →
Process Tube adalah komponen penting, dirancang khusus dalam berbagai aplikasi pemrosesan semikonduktor seperti RTP, difusi.
Perahu Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemrosesan semikonduktor, telah dirancang dengan cermat untuk memastikan wafer halus tetap aman selama tahap kritis produksi.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC dengan peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated sangat stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Semicorex juga memiliki produk keramik Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Keramik Komposit, dll.
Semicorex SIC membran adalah solusi filtrasi keramik berkinerja tinggi yang terbuat dari silikon karbida dengan kemurnian tinggi, yang dirancang untuk menantang aplikasi filtrasi industri. Pilih Semicorex untuk membran SIC yang andal, tahan lama, dan efisien yang memberikan kinerja luar biasa dan nilai jangka panjang bahkan di lingkungan yang paling menuntut.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex vacuum chucks adalah solusi sempurna untuk penanganan wafer di industri semikonduktor dan presisi. Dengan berbagai opsi bahan dasar, kustomisasi pelat keramik, dan kontrol kerataan yang tepat, chucks vakum kami memastikan stabilitas wafer yang andal dan hasil proses yang sangat baik. Dirancang untuk memenuhi tuntutan ketat dari manufaktur semikonduktor modern, chuck ini memberikan kinerja yang tak tertandingi, memastikan bahwa proses Anda tetap efisien dan hemat biaya.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Porous SIC Vacuum Chuck dirancang untuk penanganan wafer yang tepat dan andal, menawarkan opsi material yang dapat disesuaikan untuk memenuhi berbagai kebutuhan pemrosesan semikonduktor. Pilih Semicorex untuk komitmennya terhadap solusi berkualitas tinggi dan tahan lama yang memberikan kinerja dan efisiensi yang optimal di setiap aplikasi.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Microporous SIC Chuck adalah chuck vakum presisi tinggi yang dirancang untuk penanganan wafer yang aman dalam proses semikonduktor. Pilih Semicorex untuk solusi kami yang dapat disesuaikan, pemilihan materi yang unggul, dan komitmen untuk presisi, memastikan kinerja yang optimal dalam kebutuhan pemrosesan wafer Anda.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanChuck Keramik Berpori Semicorex (Vacuum Chuck) adalah alat presisi tinggi yang dirancang untuk menahan wafer dengan aman selama proses pembuatan semikonduktor. Dengan memilih Semicorex, Anda mendapatkan keuntungan dari solusi yang menawarkan kinerja, daya tahan, dan opsi penyesuaian yang luar biasa, memastikan peningkatan efisiensi produksi dan standar kualitas yang konsisten.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Alumina Vacuum Chuck adalah komponen rekayasa presisi yang dirancang untuk menahan wafer atau substrat dengan aman selama proses semikonduktor kritis dan manufaktur presisi. Dengan komitmen Semicorex terhadap bahan berkualitas tinggi dan teknik manufaktur mutakhir, Alumina Vacuum Chuck kami memberikan keandalan, presisi, dan kinerja tak tertandingi untuk aplikasi Anda yang paling menuntut.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan