Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen keramik SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari suku cadang habis pakai untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti perahu wafer Silicon Carbide, dayung kantilever, tabung, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Dayung Kantilever →
Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD selama proses seperti difusi dan RTP.
Tabung Proses →
Process Tube adalah komponen penting, dirancang khusus dalam berbagai aplikasi pemrosesan semikonduktor seperti RTP, difusi.
Perahu Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemrosesan semikonduktor, telah dirancang dengan cermat untuk memastikan wafer halus tetap aman selama tahap kritis produksi.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC oleh peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated benar-benar stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Semicorex juga memiliki produk keramik Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Keramik Komposit, dll.
Silicon Nitride Guide Roller oleh Semicorex mewakili puncak dalam teknik keramik tingkat lanjut. Produk ini menawarkan perpaduan luar biasa antara sifat mekanik, termal, dan listrik.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Al2O3 Vacuum Chuck dirancang untuk memenuhi tuntutan ketat berbagai proses produksi semikonduktor, termasuk penipisan, pemotongan, pembersihan, dan pengangkutan wafer. **
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Alumina Ceramic Vacuum Chuck diterapkan dalam proses penipisan dan penggilingan wafer pada manufaktur semikonduktor, berfungsi sebagai alat yang sangat diperlukan untuk mencapai produksi semikonduktor yang berpresisi tinggi dan andal.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanBagian Segel Keramik Semicorex SiC berdiri sebagai bukti kehebatan ilmu material dan teknik mutakhir, yang dirancang untuk memenuhi tuntutan aplikasi penyegelan mekanis berkinerja tinggi di berbagai industri.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC O Ring sangat dihargai di berbagai industri karena kemampuan penyegelan dan sifat materialnya yang luar biasa. Penggunaannya mencakup aplikasi di mana kondisi ekstrem seperti suhu tinggi, bahan kimia agresif, tekanan mekanis, dan kebersihan yang ketat merupakan hal yang rutin dilakukan.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Electrostatic Chuck E-Chuck adalah komponen khusus yang digunakan dalam industri semikonduktor untuk menahan wafer dengan aman selama berbagai proses manufaktur. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan