Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen keramik SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari suku cadang habis pakai untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti perahu wafer Silicon Carbide, dayung kantilever, tabung, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Dayung Kantilever →
Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD selama proses seperti difusi dan RTP.
Tabung Proses →
Process Tube adalah komponen penting, dirancang khusus dalam berbagai aplikasi pemrosesan semikonduktor seperti RTP, difusi.
Perahu Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemrosesan semikonduktor, telah dirancang dengan cermat untuk memastikan wafer halus tetap aman selama tahap kritis produksi.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC dengan peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated sangat stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Semicorex juga memiliki produk keramik Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Keramik Komposit, dll.
Penerapan Semicorex Alumina Wafer Polishing Carrier di berbagai industri, mulai dari semikonduktor hingga fotovoltaik, memainkan peran penting dalam proses penggilingan dan pemolesan mekanis kimia (CMP) wafer.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanKatup Silikon Karbida Semicorex adalah komponen penting dalam berbagai aplikasi industri, menawarkan ketahanan korosi, ketahanan suhu, dan ketahanan mekanis yang tak tertandingi. Cocok untuk industri mulai dari petrokimia hingga biofarmasi, memastikan pengoperasian yang efisien dan andal bahkan di lingkungan yang paling menantang sekalipun.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanChuck Elektrostatik PBN oleh Semicorex menonjol di bidang penanganan wafer dalam manufaktur semikonduktor karena sifat materialnya yang unik.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanRoller Silikon Nitrida, dipersembahkan oleh Semicorex, dibuat dari silikon nitrida (Si3N4) yang disinter tekanan gas, bahan keramik berkinerja tinggi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Segel Putar Semicorex SiC dirancang untuk bekerja dalam kondisi tekanan tinggi dan suhu tinggi. Stabilitas dan daya tahannya dalam lingkungan seperti itu menjadikannya komponen yang sangat berharga dalam aplikasi penyegelan di mana material tradisional mungkin rusak.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanLengan Robot Semicorex SiC adalah lengan robot keramik silikon karbida berkinerja tinggi yang dirancang untuk presisi dan daya tahan dalam proses manufaktur semikonduktor. Pilih Semicorex karena keahlian kami dalam memberikan solusi inovatif, andal, dan berkualitas tinggi yang disesuaikan dengan kebutuhan industri semikonduktor.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan