Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen keramik SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari suku cadang habis pakai untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti perahu wafer Silicon Carbide, dayung kantilever, tabung, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Dayung Kantilever →
Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD selama proses seperti difusi dan RTP.
Tabung Proses →
Process Tube adalah komponen penting, dirancang khusus dalam berbagai aplikasi pemrosesan semikonduktor seperti RTP, difusi.
Perahu Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemrosesan semikonduktor, telah dirancang dengan cermat untuk memastikan wafer halus tetap aman selama tahap kritis produksi.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC dengan peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated sangat stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Semicorex juga memiliki produk keramik Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Keramik Komposit, dll.
Semicorex Vacuum Chuck adalah komponen berkinerja tinggi yang dirancang untuk penanganan wafer yang aman dan presisi dalam manufaktur semikonduktor. Pilih Semicorex untuk solusi kami yang canggih, tahan lama, dan tahan kontaminasi yang menjamin kinerja optimal bahkan dalam proses yang paling menuntut sekalipun.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Silicon Carbide Sleeve umumnya digunakan sebagai pelapis tahan aus dan korosi untuk peralatan seperti silinder, pompa, katup, bantalan geser, dan drum penggiling.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Insulasi Alumina Semicorex digunakan sebagai isolator pada berbagai komponen listrik, sifat insulasi listriknya yang sangat baik memastikan kinerja yang andal dalam aplikasi yang mengutamakan pencegahan konduksi listrik.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Silicon Carbide Liner adalah material serbaguna dan kuat yang berfungsi sebagai aset tak ternilai dalam mengoptimalkan efisiensi dan umur panjang peralatan pemrosesan industri.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Steering Mirror adalah bahan luar biasa yang menggabungkan daya tahan, ketahanan, dan kinerja optik luar biasa, menjadikannya sangat diperlukan dalam sistem optik canggih di berbagai industri teknologi tinggi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Zirkonia Hitam Semicorex adalah komponen berkinerja tinggi yang menawarkan perpaduan unik antara kekuatan mekanik, kekerasan, dan ketahanan terhadap tantangan termal dan kimia dalam penyegelan dan insulasi hingga proses pemesinan dan metalurgi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan