Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen keramik SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari suku cadang habis pakai untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti perahu wafer Silicon Carbide, dayung kantilever, tabung, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Dayung Kantilever →
Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD selama proses seperti difusi dan RTP.
Tabung Proses →
Process Tube adalah komponen penting, dirancang khusus dalam berbagai aplikasi pemrosesan semikonduktor seperti RTP, difusi.
Perahu Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemrosesan semikonduktor, telah dirancang dengan cermat untuk memastikan wafer halus tetap aman selama tahap kritis produksi.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC dengan peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated sangat stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Semicorex juga memiliki produk keramik Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Keramik Komposit, dll.
Semicorex 6 Inch SiC Boat adalah pembawa wafer berkinerja tinggi yang terbuat dari silikon karbida, dirancang untuk digunakan dalam proses semikonduktor suhu tinggi seperti oksidasi dan difusi. Semicorex menyediakan produk berkualitas unggul dengan stabilitas termal yang luar biasa, ketahanan kimia yang sangat baik, dan komitmen terhadap kinerja yang andal dan tahan lama dalam aplikasi semikonduktor yang menuntut.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Vertical Silicon Boat adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, Semicorex menghadirkan Silicon boat vertikal khusus dengan kualitas dan presisi tak tertandingi, dirancang untuk memenuhi tuntutan ketat industri semikonduktor.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Segel Si3N4 dari Semicorex mewakili kemajuan signifikan dalam teknik keramik, dibuat dari Si3N4, bahan anorganik yang luar biasa. Keramik ini terkenal dengan sifat uniknya yaitu tidak menyusut selama proses sintering, memastikan stabilitas dan konsistensi dimensi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Alumina Fastener merupakan bagian integral dari konstruksi peralatan yang digunakan dalam deposisi uap kimia (CVD), implantasi ion, fotolitografi, dan manufaktur semikonduktor.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPoros Pompa Semicorex SiC menonjol karena kinerja dan keandalannya yang tak tertandingi sebagai komponen integral dalam pompa magnetik, pompa pelindung, pompa multistage, pompa hidrolik, pompa kimia, dan sentrifugal.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanDirancang untuk tahan terhadap kondisi ekstrem, AlN Ceramic Crucible yang dipersembahkan oleh Semicorex adalah alat yang sangat diperlukan bagi para profesional yang bekerja dengan logam non-ferrous dan bahan semikonduktor seperti gallium arsenide.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan