Perahu Wafer Keramik Silikon Karbida

Pemilihan bahan premium

Sifat luar biasa dari keramik silikon karbida Semicorexperahu waferdisebabkan oleh bahan baku berkualitas tinggi. Terbuat dari bahan SiSiC tingkat semikonduktor dan dilapisi dengan lapisan SiC CVD, perahu wafer keramik silikon karbida menunjukkan sifat luar biasa berikut.

1. Kemurnian ultra-tinggi, bebas dari pelepasan pengotor logam

Pengotor substrat: ＜100 ppm

Pengotor lapisan CVD SiC: ＜1 ppm

2. Stabilitas termal yang unggul

Perahu wafer keramik silikon karbida mampu bekerja dengan mantap dalam kondisi suhu tinggi 1250℃, menghasilkan deformasi minimal dan ketahanan mulur.

3. Kekuatan mekanik yang tinggi

Silikon karbidamemiliki kekerasan dan ketahanan aus yang tinggi, memungkinkan perahu wafer keramik silikon karbida Semicorex tahan terhadap goresan, lecet, dan kerusakan, sehingga bekerja dengan baik selama pengoperasian jangka panjang dan tahan terhadap kerusakan.

4. Ketahanan korosi yang luar biasa

Karena silikon karbida tahan terhadap korosi dari asam dan alkali kuat, perahu wafer keramik silikon karbida Semicorex dapat mempertahankan integritas struktural dan kinerja fungsionalnya bahkan dalam kondisi kerja yang sangat korosif.

Desain struktural yang dioptimalkan

Perahu wafer keramik silikon karbida semicorex dirancang untuk pemrosesan wafer batch, kerangka strukturalnya yang dioptimalkan memastikan dukungan wafer batch yang stabil dan stabilitas proses yang konsisten untuk setiap wafer.

Struktur pendukung vertikal 1,3 tiang

Struktur vertikal perahu wafer keramik silikon karbida Semicorex memungkinkannya menyesuaikan dengan aplikasi tungku vertikal dengan mulus. Dengan struktur ini, perahu wafer keramik silikon karbida  emicorex dapat memfasilitasi sirkulasi gas proses yang homogen dan distribusi energi panas yang seragam dalam tungku bersuhu tinggi.

2. Jepitan slot yang terdistribusi secara merata

Perahu wafer keramik silikon karbida Semicorex dilengkapi dengan beberapa penjepit slot yang dikerjakan dengan mesin presisi pada tiang penyangganya. Jepitan slotnya yang berjarak sama mencapai jarak slot yang sesuai, yang memungkinkan perahu wafer keramik silikon karbida mengamankan wafer semikonduktor dengan kuat, sehingga berkontribusi pada peningkatan konsistensi hasil pemrosesan termal wafer.

Dengan begitu banyak kinerja dan fungsi yang sangat baik, perahu wafer keramik silikon karbida Semicorex banyak digunakan dalam proses inti pembuatan wafer semikonduktor, seperti oksidasi, difusi, implantasi ion, dan anil suhu tinggi.