Pembawa Wafer
  • Pembawa WaferPembawa Wafer

Pembawa Wafer

Pembawa Wafer grafit berlapis SiC Semicorex dirancang untuk memberikan penanganan wafer yang andal selama proses pertumbuhan epitaksi semikonduktor, menawarkan ketahanan suhu tinggi dan konduktivitas termal yang sangat baik. Dengan teknologi material canggih dan fokus pada presisi, Semicorex memberikan kinerja dan daya tahan yang unggul, memastikan hasil optimal untuk aplikasi semikonduktor yang paling menuntut.*

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Semicorex Wafer Carrier adalah komponen penting dalam industri semikonduktor, yang dirancang untuk menampung dan mengangkut wafer semikonduktor selama proses pertumbuhan epitaksi yang kritis. Terbuat dariGrafit berlapis SiC, produk ini dioptimalkan untuk memenuhi persyaratan menuntut aplikasi suhu tinggi dan presisi tinggi yang biasa ditemui dalam manufaktur semikonduktor.


Wafer Carrier grafit berlapis SiC dirancang untuk memberikan kinerja luar biasa selama proses penanganan wafer, khususnya dalam reaktor pertumbuhan epitaksi. Grafit dikenal luas karena sifat termalnya yang sangat baik

 konduktivitas dan stabilitas suhu tinggi, sedangkan lapisan SiC (silikon karbida) meningkatkan ketahanan material terhadap oksidasi, korosi kimia, dan keausan. Bersama-sama, bahan-bahan ini menjadikan Wafer Carrier ideal untuk digunakan di lingkungan yang mengutamakan presisi tinggi dan keandalan tinggi.


Komposisi dan Sifat Bahan


Wafer Carrier dibuat darigrafit berkualitas tinggi, yang dikenal dengan kekuatan mekaniknya yang sangat baik dan kemampuannya menahan kondisi termal yang ekstrem. Itulapisan SiCditerapkan pada grafit memberikan lapisan perlindungan tambahan, membuat komponen sangat tahan terhadap oksidasi pada suhu tinggi. Lapisan SiC juga meningkatkan daya tahan kapal induk, memastikan integritas strukturalnya tetap terjaga di bawah siklus suhu tinggi yang berulang dan paparan gas korosif.


Komposisi grafit berlapis SiC memastikan:

· Konduktivitas termal yang sangat baik: memfasilitasi perpindahan panas yang efisien, penting selama proses pertumbuhan epitaksi semikonduktor.

· Ketahanan suhu tinggi: lapisan SiC tahan terhadap lingkungan panas ekstrem, memastikan pembawa mempertahankan kinerjanya sepanjang siklus termal di dalam reaktor.

· Ketahanan korosi kimia: lapisan SiC secara signifikan meningkatkan ketahanan pembawa terhadap oksidasi dan korosi dari gas reaktif yang sering ditemui selama epitaksi.

· Stabilitas dimensi: kombinasi SiC dan grafit memastikan pembawa mempertahankan bentuk dan presisi dari waktu ke waktu, meminimalkan risiko deformasi selama proses berjalan lama.


Aplikasi dalam Pertumbuhan Epitaksi Semikonduktor


Epitaksi adalah proses di mana lapisan tipis bahan semikonduktor diendapkan ke substrat, biasanya wafer, untuk membentuk struktur kisi kristal. Selama proses ini, penanganan wafer yang presisi sangat penting, karena penyimpangan kecil sekalipun pada posisi wafer dapat mengakibatkan cacat atau variasi pada struktur lapisan.


Wafer Carrier memainkan peran penting dalam memastikan bahwa wafer semikonduktor dipegang dengan aman dan ditempatkan dengan benar selama proses ini. Kombinasi grafit berlapis SiC memberikan karakteristik kinerja yang diperlukan untuk epitaksi silikon karbida (SiC), sebuah proses yang melibatkan pertumbuhan kristal SiC dengan kemurnian tinggi untuk digunakan dalam elektronika daya, optoelektronik, dan aplikasi semikonduktor canggih lainnya.


Secara khusus, Pembawa Wafer:

· Memberikan penyelarasan wafer yang tepat: Memastikan keseragaman dalam pertumbuhan lapisan epitaksial di seluruh wafer, yang sangat penting untuk hasil dan kinerja perangkat.

· Tahan terhadap siklus termal: grafit berlapis SiC tetap stabil dan andal, bahkan di lingkungan bersuhu tinggi hingga 2000°C, memastikan penanganan wafer yang konsisten selama proses berlangsung.

· Meminimalkan kontaminasi wafer: Komposisi bahan pembawa dengan kemurnian tinggi memastikan bahwa wafer tidak terkena kontaminan yang tidak diinginkan selama proses pertumbuhan epitaksi.


Dalam reaktor epitaksi semikonduktor, Wafer Carrier ditempatkan di dalam ruang reaktor, yang berfungsi sebagai platform pendukung wafer. Pembawa memungkinkan wafer terkena suhu tinggi dan gas reaktif yang digunakan dalam proses pertumbuhan epitaksi tanpa mengurangi integritas wafer. Lapisan SiC mencegah interaksi kimia dengan gas, memastikan pertumbuhan material berkualitas tinggi dan bebas cacat.


Keuntungan dari Pembawa Wafer Grafit Dilapisi SiC

1. Peningkatan Daya Tahan: Lapisan SiC meningkatkan ketahanan aus bahan grafit, mengurangi risiko degradasi dalam beberapa penggunaan.

2. Stabilitas Suhu Tinggi: Wafer Carrier dapat mentolerir suhu ekstrim yang umum terjadi pada tungku pertumbuhan epitaksi, menjaga integritas strukturalnya tanpa melengkung atau retak.

3. Peningkatan Hasil dan Efisiensi Proses: Dengan memastikan wafer ditangani secara aman dan konsisten, Wafer Carrier grafit berlapis SiC membantu meningkatkan hasil keseluruhan dan efisiensi proses pertumbuhan epitaksi.

4. Opsi Kustomisasi: Pembawa dapat disesuaikan dalam hal ukuran dan konfigurasi untuk memenuhi kebutuhan spesifik reaktor epitaksi yang berbeda, memberikan fleksibilitas untuk berbagai aplikasi semikonduktor.


SemicorexGrafit berlapis SiCWafer Carrier adalah komponen penting dalam industri semikonduktor, memberikan solusi optimal untuk penanganan wafer selama proses pertumbuhan epitaksi. Dengan kombinasi stabilitas termal, ketahanan kimia, dan kekuatan mekanik, ini memastikan penanganan wafer semikonduktor yang tepat dan andal, sehingga menghasilkan hasil berkualitas lebih tinggi dan meningkatkan hasil dalam proses epitaksi. Baik untuk epitaksi silikon karbida atau aplikasi semikonduktor canggih lainnya, Wafer Carrier ini menawarkan ketahanan dan kinerja yang diperlukan untuk memenuhi standar manufaktur semikonduktor modern.

Tag Panas: Wafer Carrier, Cina, Produsen, Pemasok, Pabrik, Disesuaikan, Massal, Canggih, Tahan Lama
Kategori Terkait
mengirimkan permintaan
Jangan ragu untuk memberikan pertanyaan Anda dalam formulir di bawah ini. Kami akan membalas Anda dalam 24 jam.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept