Pelapisan SiC merupakan lapisan tipis pada suseptor melalui proses deposisi uap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan sejumlah keunggulan dibandingkan silikon, termasuk 10x kekuatan medan listrik kerusakan, 3x celah pita, yang memberikan bahan tersebut ketahanan suhu dan bahan kimia yang tinggi, ketahanan aus yang sangat baik, serta konduktivitas termal.
Semicorex memberikan layanan yang disesuaikan, membantu Anda berinovasi dengan komponen yang bertahan lebih lama, mengurangi waktu siklus, dan meningkatkan hasil.
Lapisan SiC memiliki beberapa keunggulan unik
Ketahanan Suhu Tinggi: Susceptor berlapis CVD SiC dapat menahan suhu tinggi hingga 1600°C tanpa mengalami degradasi termal yang signifikan.
Ketahanan Kimia: Lapisan silikon karbida memberikan ketahanan yang sangat baik terhadap berbagai bahan kimia, termasuk asam, basa, dan pelarut organik.
Ketahanan Aus: Lapisan SiC memberikan ketahanan aus yang sangat baik pada material, sehingga cocok untuk aplikasi yang melibatkan keausan tinggi.
Konduktivitas Termal: Lapisan CVD SiC memberikan material dengan konduktivitas termal yang tinggi, sehingga cocok untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan perpindahan panas yang efisien.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Susceptor berlapis silikon karbida memberikan material dengan kekuatan dan kekakuan tinggi, sehingga cocok untuk aplikasi yang membutuhkan kekuatan mekanik tinggi.
Lapisan SiC digunakan dalam berbagai aplikasi
Manufaktur LED: Susceptor berlapis CVD SiC digunakan dalam proses pembuatan berbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV, dan LED UV dalam, karena konduktivitas termal yang tinggi dan ketahanan terhadap bahan kimia.
Komunikasi seluler: Susceptor berlapis CVD SiC adalah bagian penting dari HEMT untuk menyelesaikan proses epitaksi GaN-on-SiC.
Pemrosesan Semikonduktor: Susceptor berlapis CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk berbagai aplikasi, termasuk pemrosesan wafer dan pertumbuhan epitaksi.
Komponen grafit berlapis SiC
Dibuat dengan grafit Silicon Carbide Coating (SiC), pelapisan ini diterapkan dengan metode CVD pada tingkat tertentu grafit kepadatan tinggi, sehingga dapat beroperasi di tungku suhu tinggi dengan suhu lebih dari 3000 °C dalam atmosfer inert, 2200 °C dalam ruang hampa. .
Sifat khusus dan massa material yang rendah memungkinkan laju pemanasan yang cepat, distribusi suhu yang seragam, dan presisi pengendalian yang luar biasa.
Data material Lapisan SiC Semicorex
Properti khas |
Satuan |
Nilai-nilai |
Struktur |
|
Fase FCC β |
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 lebih disukai |
Kepadatan massal |
gram/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasitas Panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Ekspansi termal 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Young |
IPK (tikungan 4pt, 1300℃) |
430 |
Ukuran Butir |
m |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Felekural |
MPa (RT 4 poin) |
415 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Susceptor berlapis CVD SiC merupakan material komposit yang menggabungkan sifat susceptor dan silikon karbida. Bahan ini memiliki sifat unik, termasuk ketahanan terhadap suhu dan bahan kimia yang tinggi, ketahanan aus yang sangat baik, konduktivitas termal yang tinggi, serta kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Sifat-sifat ini menjadikannya bahan yang menarik untuk berbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemrosesan semikonduktor, pemrosesan kimia, perlakuan panas, pembuatan sel surya, dan pembuatan LED.
Disk Etsa ICP Semicorex SiC bukan sekadar komponen; ini merupakan faktor penting yang memungkinkan manufaktur semikonduktor mutakhir seiring dengan industri semikonduktor yang terus mengejar miniaturisasi dan kinerja tanpa henti, permintaan akan material canggih seperti SiC akan semakin meningkat. Ini memastikan presisi, keandalan, dan kinerja yang diperlukan untuk menggerakkan dunia kami yang digerakkan oleh teknologi. Kami di Semicorex berdedikasi untuk memproduksi dan memasok Disk Etsa SiC ICP berkinerja tinggi yang memadukan kualitas dengan efisiensi biaya.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanTerdapat banyak sifat dari Semicorex SiC Coated Epitaxy Disc yang menjadikannya komponen yang sangat diperlukan dalam manufaktur semikonduktor, di mana presisi, daya tahan, dan ketahanan peralatan sangat penting untuk keberhasilan perangkat semikonduktor berteknologi tinggi. Kami di Semicorex berdedikasi untuk memproduksi dan memasok Cakram Epitaxy Berlapis SiC berkinerja tinggi yang memadukan kualitas dengan efisiensi biaya.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Susceptor untuk ICP Etch diproduksi dengan fokus mempertahankan standar kualitas dan konsistensi yang tinggi. Proses manufaktur tangguh yang digunakan untuk membuat susceptor ini memastikan bahwa setiap batch memenuhi kriteria kinerja yang ketat, sehingga memberikan hasil yang andal dan konsisten dalam pengetsaan semikonduktor. Selain itu, Semicorex dilengkapi untuk menawarkan jadwal pengiriman yang cepat, yang sangat penting untuk mengimbangi tuntutan perputaran industri semikonduktor yang cepat, memastikan bahwa jadwal produksi terpenuhi tanpa mengurangi kualitas. Kami di Semicorex berdedikasi untuk memproduksi dan memasok kinerja tinggi Susceptor SiC untuk ICP Etch yang memadukan kualitas dengan efisiensi biaya.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Dukungan Berlapis SiC Semicorex adalah komponen penting yang digunakan dalam proses pertumbuhan epitaksi semikonduktor. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Dilapisi SiC Semicorex adalah komponen penting dalam proses pertumbuhan epitaksi semikonduktor, yang dirancang untuk memenuhi tuntutan persyaratan manufaktur semikonduktor modern. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanKeandalan dan kinerja luar biasa dari Semicorex SiC Boat untuk Difusi Sel Surya berasal dari kemampuannya untuk secara konsisten menghasilkan kondisi produksi sel surya yang menuntut. Sifat material SiC yang berkualitas tinggi memastikan bahwa kapal ini bekerja secara optimal pada berbagai kondisi pengoperasian, berkontribusi pada produksi sel surya yang stabil dan efisien. Atribut kinerjanya mencakup kekuatan mekanik yang sangat baik, stabilitas termal, dan ketahanan terhadap tekanan lingkungan, menjadikan Perahu SiC untuk Difusi Sel Surya sebagai alat yang sangat diperlukan dalam industri fotovoltaik.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan