Cincin Fokus Silikon Karbida

Cincin fokus silikon karbidabiasanya dipasang di ruang reaksi peralatan etsa, ditempatkan di sekitar permukaan pendukung wafer dari chuck elektrostatis. Pengaturan pemasangan ini berhasil mengisi perbedaan ketinggian antara tepi wafer dan elektroda, memfokuskan plasma dalam ruang reaksi ke permukaan wafer untuk mencapai pengetsaan yang seragam dan juga mencegah difusi plasma keluar dari tepi wafer untuk menghindari masalah pengetsaan berlebih pada tepi wafer.

Komponen etsa berkualitas tinggi dapat menyediakan lingkungan medan listrik yang stabil untuk proses etsa. Cincin fokus silikon karbida Semicorex dibuat dari kinerja tinggibahan silikon karbidamelalui pengendapan uap kimia. Cincin fokus kami mampu menyesuaikan distribusi medan listrik di sekitar wafer, secara signifikan mengurangi penyimpangan etsa atau fenomena pelepasan yang disebabkan oleh medan listrik yang tidak merata.

Wafer semikonduktor mudah rentan terhadap kontaminasi partikulat, sehingga proses etsa plasma harus dilakukan di ruang reaksi etsa ion yang sangat bersih. Sebagai komponen utama peralatan etsa, cincin fokus silikon karbida bersentuhan langsung dengan tepi wafer dalam pengoperasian sebenarnya, juga diharuskan memenuhi standar kebersihan yang sangat tinggi. Cincin fokus silikon karbida Semicorex menawarkan keunggulan kemurnian tinggi dan kandungan pengotor rendah, yang secara tepat dapat memenuhi persyaratan kebersihan yang ketat dari proses etsa semikonduktor. Hal ini berkontribusi besar dalam mengurangi cacat wafer dan meningkatkan hasil produksi wafer.

Selama proses etsa plasma, gas etsa seperti fluor dan oksigen dimasukkan ke dalam ruang reaksi. Ketahanan korosi kimia pada peralatan etsa sangat terhambat oleh korosi jangka panjang yang disebabkan oleh gas proses. Dengan sifat ketahanannya yang unggul terhadap korosi plasma, silikon karbida adalah pilihan material yang optimal untuk pembuatan cincin fokus. Dengan menurunkan kemungkinan kerusakan komponen terkait korosi dan meminimalkan kebutuhan akan penggantian dan pemeliharaan yang sering, cincin fokus silikon karbida dapat meningkatkan efisiensi pembuatan wafer semikonduktor secara signifikan.