Tabung Proses Silikon Karbida

Tabung Proses Silikon Karbida Semicorex adalah komponen penting dalam bidang manufaktur semikonduktor, dirancang khusus untuk digunakan dalam tungku vertikal yang digunakan dalam berbagai aplikasi pemrosesan semikonduktor seperti RTP, difusi. Tabung khusus ini memainkan peran penting dalam memfasilitasi perlakuan termal wafer semikonduktor yang terkontrol dan tepat selama perjalanannya melalui proses fabrikasi penting.

Dibangun dari silikon karbida dengan kemurnian tinggi, Tabung Proses Silikon Karbida ini menunjukkan konduktivitas termal yang luar biasa, ketahanan terhadap suhu ekstrem, dan kekuatan mekanik yang luar biasa. Sifat materialnya yang unik menjadikannya pilihan ideal untuk aplikasi yang menuntut suhu tinggi dan lingkungan kimia keras yang biasa ditemui dalam pemrosesan semikonduktor.

Dalam tungku vertikal, Tabung Proses Silikon Karbida memberikan atmosfer pelindung dan terkendali untuk wafer semikonduktor saat wafer menjalani proses seperti RTP. RTP melibatkan siklus pemanasan dan pendinginan cepat yang penting untuk mengaktifkan dopan, anil, dan perlakuan termal lainnya yang penting untuk fabrikasi perangkat semikonduktor. Sifat kuat Tabung Proses Silikon Karbida memastikan umur panjang dan keandalan dalam lingkungan termal dan kimia yang menuntut, berkontribusi terhadap efisiensi dan ketepatan proses manufaktur semikonduktor secara keseluruhan.