Silikon karbida vakum chuck

Semicorex silikon karbida vakum chuck adalah bagian penting dari manufaktur semikonduktor untuk proses yang membutuhkan presisi tinggi dan kontaminasi rendah. Chucks vakum dibuat dari keramik silikon karbida berpori-kemurnian tinggi dan memberikan kekuatan mekanik yang sangat baik, konduktivitas termal, dan inertness kimia, dan fitur struktur pori yang dikontrol secara akurat untuk retensi vakum yang dapat diandalkan. Chuck vakum silikon karbida adalah alat adsorpsi fungsional yang terbuat dari bahan keramik silikon karbida (sic), yang bergantung pada tekanan negatif vakum, adsorpsi elektrostatik atau penjepitan mekanis untuk memberikan genggaman stabil dari benda kerja. Chucks vakum telah digunakan dalam semikonduktor, fotovoltaik, manufaktur yang tepat dan aplikasi lain yang memiliki tuntutan tinggi yang sangat tinggi untuk ketahanan suhu tinggi, ketahanan aus dan kebersihan.

Dasar darimembuangadalah bahan sic berpori, yang memiliki permeanisasi udara yang dapat diprediksi di permukaannya. Ini berarti dimungkinkan untuk dengan aman menyerap wafer tanpa penjepit mekanis dan karenanya melumpuhkan potensi kerusakan fisik atau kontaminasi sampel. Porositas material dikontrol dengan ketat - biasanya memiliki porositas 35-40% - untuk memberikan distribusi vakum yang tepat tetapi juga memenuhi persyaratan struktural untuk siklus termal dan mekanik yang tahan lama.

Wafer Vacuum Chucksbiasanya terbuat dari permukaan yang keras dengan banyak lubang atau saluran kecil di permukaan. Melalui lubang -lubang kecil ini, chuck dapat dihubungkan ke pompa vakum, yang menciptakan efek vakum. Ketika wafer ditempatkan di chuck, pompa vakum dihidupkan dan udara ditarik melalui lubang kecil, menciptakan kekosongan antara wafer dan chuck. Efek vakum ini menciptakan pengisapan yang cukup untuk menempelkan wafer ke permukaan chuck.

Permukaan keramik sering digunakan dalam aplikasi yang membutuhkan kemurnian tinggi dan stabilitas kimia. Keramik adalah bahan yang diproduksi oleh fusi mineral suhu tinggi. Secara umum, keramik adalah isolator listrik atau semikonduktor dan memiliki ketahanan tinggi terhadap gangguan termal, erosi dan kerusakan.

Semicorex membangun silikon kustom silikon karbida vakum chuck ke spesifikasi pelanggan untuk hal -hal seperti dimensi, porositas, permukaan akhir, dan pola untuk penyaluran vakum. Sebagai hasil dari kemampuan manufaktur dan kamar yang bersih, kami menawarkan yang terbaik dalam pelepasan partikel rendah dan kebersihan untuk mengakomodasi persyaratan kebersihan semua produsen semikonduktor dan produsen peralatan.

Kita dapat membuat chuck untuk wafer ukuran apa pun, dari wafer 2 inci hingga 12 inci dan beradaptasi untuk mengintegrasikan chuck ke dalam sejumlah besar peralatan pemrosesan wafer. Ini dapat digunakan untuk proses front-end dan/atau proses back-end, menjadikan SIC Vacuum Chuck sebagai sarana dukungan wafer yang ekonomis, tepat, stabil dan kontaminasi dalam alur kerja FAB semikonduktor.

Silicon Carbide Vacuum Chuck adalah alat penting dalam manufaktur semikonduktor saat ini, menggabungkan bahan dan rekayasa terbaik. Keandalan yang tahan lama dan patuh melalui termal dan kimia ekstrem menjadikannya dukungan sempurna dalam aplikasi proses yang meliputi, waxing, penipisan, pembersihan dan RTA. Dengan mendapatkan chuck vakum silikon karbida Anda melalui semicorex, Anda memastikan kemurnian material terbaik, solusi khusus, dan kinerja yang andal untuk hasil yang unggul di semua jalur pemrosesan wafer Anda.