Perahu Wafer Silikon Karbida

Semicorex merekayasa keramik kelas semikonduktor untuk alat semifabrikasi OEM dan komponen penanganan wafer Anda. Perahu Wafer Silikon Karbida kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Silicon Carbide Wafer Boat dari Semicorex, menampilkan kemurnian yang sangat tinggi (hingga 99,99%), ketahanan plasma yang sangat baik dan ketahanan panas, dan kejadian partikel terbatas, digunakan di bagian peralatan pemrosesan semikonduktor, termasuk komponen dan alat struktural.
Di Semicorex, kami fokus untuk menyediakan Silicon Carbide Wafer Boat yang berkualitas tinggi dan hemat biaya, kami memprioritaskan kepuasan pelanggan dan memberikan solusi yang hemat biaya. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas tinggi dan layanan pelanggan yang luar biasa.
Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang Silicon Carbide Wafer Boat kami.

Parameter Perahu Wafer Silikon Karbida

Properti Teknis
Indeks	Satuan	Nilai
nama material		Reaksi Sinter Silikon Karbida	Karbida Silikon Sintered Tanpa Tekanan	Karbida Silikon Rekristalisasi
Komposisi		RBSiC	SSIC	R-SiC
Kepadatan Massal	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Kekuatan Lentur	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Kekuatan Kompresif	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kekerasan	Knoop	2700	2800	/
Mematahkan Kegigihan	MPa m1/2	4.5	4	/
Konduktivitas termal	W/m.k	95	120	23
Koefisien Ekspansi Termal	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Panas Spesifik	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Suhu maksimum di udara	℃	1200	1500	1600
Modulus elastis	IPK	360	410	240

Perbedaan antara SSiC dan RBSiC:

1. Proses sintering berbeda. RBSiC adalah untuk menginfiltrasi Si bebas ke dalam silikon karbida pada suhu rendah, SSiC dibentuk oleh penyusutan alami pada 2100 derajat.

2. SSiC memiliki permukaan yang lebih halus, kerapatan lebih tinggi, dan kekuatan lebih tinggi, untuk beberapa penyegelan dengan persyaratan permukaan yang lebih ketat, SSiC akan lebih baik.

3. Waktu penggunaan yang berbeda di bawah PH dan suhu yang berbeda, SSiC lebih lama dari RBSiC

Fitur Perahu Wafer Silikon Karbida

Ketahanan panas yang unggul & keseragaman termal
Lapisan kristal SiC halus untuk permukaan yang halus
Daya tahan tinggi terhadap pembersihan kimia
Material dirancang agar tidak terjadi retak dan delaminasi.