Perahu Kaset Silikon

Perahu kaset silikon yang terbuat dari silikon polikristalin atau silikon monokristal dengan kemurnian tinggi yang tak tertandingi memiliki keunggulan sebagai berikut:

1. Kontaminasi pengotor sangat rendah: 

Bahan-bahannya memiliki komposisi kimia yang sama dengan wafer yang dibawa, sehingga meminimalkan ion pengotor yang tidak diinginkan selama proses suhu tinggi.

2. Stabilitas termal yang luar biasa: 

Mereka mampu menahan non-deformasi dan menjaga jarak yang tepat untuk paparan suhu tinggi yang berkepanjangan (sekitar 1250°C), sehingga memberikan platform dukungan yang stabil untuk wafer.

3. Sifat mekanik yang sangat baik: 

Perahu ini lebih tahan terhadap benturan dan tidak mudah pecah saat dimuat dan dibongkar dibandingkan perahu kuarsa.

4. Umur panjang: 

Tanpa lapisan permukaan, bahan permukaannya tidak akan terkelupas meskipun terkena lingkungan bersuhu tinggi yang menantang dalam waktu lama.

Silikon semicorexperahu kasetadalah pendukung wafer kecil dan pembawa transfer yang kompatibel dengan tungku suhu tinggi horizontal 4 inci dan 6 inci. Desain struktural yang terintegrasi menghindari celah penyambungan dan kelemahan struktural pada sambungan, sehingga sangat mengurangi risiko retak yang disebabkan oleh benturan mekanis, korosi kimia, atau tekanan termal. Perahu kaset silikon sangat kompatibel dengan prosedur perawatan suhu tinggi seperti oksidasi, difusi, anil, dan pembersihan suhu tinggi karena sebagian besar teknologi pemrosesan mutakhir Semicorex.

Mereka mampu menahan non-deformasi dan menjaga jarak yang tepat untuk paparan suhu tinggi yang berkepanjangan (sekitar 1250°C), sehingga memberikan platform dukungan yang stabil untuk wafer.