Elektroda Melengkung Silikon

Selama peralatan etsa tingkat lanjut, elektroda lengkung silikon biasanya dipasang di bagian atas ruang etsa, menghadap ke arah wafer semikonduktor. Elektroda lengkung silikon biasanya beroperasi bersama dengan chuck elektrostatis, cincin fokus Si, cincin tepi Si, cincin pembuangan Si, dan cincin pelindung Si untuk memberikan kondisi pengoperasian optimal untuk pengetsaan presisi tinggi.

Fungsi elektroda melengkung silikon Semicorex

1. Kompatibel dengan etsa struktur 3D yang kompleks

Dengan kemampuan kontrol medan listrik 3D yang luar biasa, Semicorexelektroda melengkung silikondapat dengan sempurna mencocokkan karakteristik geometris struktur kompleks. Desain melengkung khusus memungkinkan kontrol plasma yang presisi dan distribusi energi yang dioptimalkan, yang secara signifikan memengaruhi rasio aspek dan vertikalitas dinding samping pengetsaan struktur 3D serta sepenuhnya memenuhi persyaratan lini produksi untuk proses pengemasan tingkat lanjut dan integrasi IC 3D.

2. Kontrol Distribusi Gas Etch yang Tepat

Elektroda lengkung silikon semicorex memiliki beberapa lubang mikro yang terdistribusi secara merata di permukaannya agar gas etsa dapat masuk ke ruang etsa. Elektroda melengkung silikon semicorex dapat mencapai kontrol yang tepat pada gas etsa dan memungkinkannya didistribusikan secara merata di ruang etsa, sehingga meminimalkan variasi proses yang disebabkan oleh distribusi gas yang tidak seragam.

Keuntungan elektroda melengkung silikon Semicorex

1. Kemurnian sangat tinggi

Elektroda melengkung silikon semicorex terbuat dari kristal tunggal dengan kemurnian sangat tinggisilikondengan tingkat kemurnian di atas 99,9999999%, menawarkan ketahanan unggul terhadap erosi plasma. Pemilihan material berstandar tinggi ini dapat secara efektif menghindari kontaminasi yang tidak diinginkan akibat produk sampingan pengetsaan sekaligus memperpanjang masa pakai elektroda lengkung silikon secara signifikan.

2. Sifat listrik yang sangat baik

Diproduksi dari silikon kristal tunggal yang dikembangkan MCZ, elektroda melengkung silikon Semicorex menunjukkan keseragaman resistivitas yang luar biasa: ＜5%, dan rentang resistivitas luas yang dapat dipilih: resolusi rendah. (<0,02), resolusi menengah. (1–4), dan resolusi tinggi. (70–90).

3. Akurasi pemrosesan yang presisi

Melalui pemrosesan mekanis presisi tinggi, elektroda melengkung silikon Semicorex mencapai ukuran pori yang konsisten dan distribusi lubang yang seragam. Permukaannya dipoles halus dan digiling: dipoles (Ra <0,1 μm) dan digiling (Ra <1,6 μm), dengan presisi pemesinan keseluruhan dikontrol dalam 0,03 mm.