Susceptor Epitaksi Silikon

Anda dapat yakin untuk membeli Silicon Epitaxy Susceptors dari pabrik kami. Silicon Epitaxy Susceptor dari Semicorex adalah produk berkualitas tinggi dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam industri semikonduktor untuk pertumbuhan epitaxial chip wafer. Produk kami memiliki teknologi pelapisan unggul yang memastikan pelapisan ada di semua permukaan, mencegah pengelupasan. Produk ini stabil pada suhu tinggi hingga 1600°C, sehingga cocok digunakan di lingkungan ekstrim.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Susceptor epitaksi silikon kami dibuat dengan deposisi uap kimia CVD di bawah kondisi klorinasi suhu tinggi, memastikan kemurnian tinggi. Permukaan produk padat, dengan partikel halus dan kekerasan tinggi, membuatnya tahan korosi terhadap reagen asam, alkali, garam, dan organik.
Produk kami dirancang untuk mencapai pola aliran gas laminar terbaik, menjamin kemerataan profil termal. Susceptors epitaksi silikon kami mencegah kontaminasi atau difusi pengotor selama proses pertumbuhan epitaxial, memastikan hasil berkualitas tinggi.
Di Semicorex, kami fokus untuk menyediakan produk berkualitas tinggi dan hemat biaya kepada pelanggan kami. Susceptors epitaksi silikon kami memiliki keunggulan harga dan diekspor ke banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami bertujuan untuk menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas yang konsisten dan layanan pelanggan yang luar biasa.

Parameter Susceptors Epitaksi Silikon

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur kristal	FCC Î² fase
Kepadatan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran butir	Î¼m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 titik)	415
Modulus muda	Gpa (tikungan 4pt, 1300â)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Parameter Susceptors Epitaksi Silikon

- Hindari pengelupasan dan pastikan lapisan di semua permukaan
Ketahanan oksidasi suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi hingga 1600°C
Kemurnian tinggi: dibuat dengan pengendapan uap kimia CVD di bawah kondisi klorinasi suhu tinggi.
Ketahanan korosi: kekerasan tinggi, permukaan padat dan partikel halus.
Ketahanan korosi: asam, alkali, garam dan reagen organik.
- Mencapai pola aliran gas laminar terbaik
- Menjamin kemerataan profil termal
- Mencegah kontaminasi atau difusi kotoran