Cincin Etsa Silikon

Cincin etsa silikon adalah komponen penting dalam ruang etsa plasma pada peralatan etsa CCP/ICP dan biasanya ditempatkan di sekitar wafer semikonduktor. Fungsi utamanya adalah untuk mendukung wafer semikonduktor, menjaga distribusi plasma seragam, melindungi tepi wafer, dan dengan demikian membantu menciptakan kondisi pengoperasian optimal untuk proses etsa plasma.

Keuntungan cincin etsa silikon Semicorex

1. Pemilihan bahan premium

Cincin etsa silikon semicorex dibuat dari MCZ dengan kemurnian tinggi yang dipilih dengan cermatsilikon monokristalin, yang menawarkan sifat luar biasa berikut dibandingkan silikon monokristalin CZ konvensional.

Kemurnian tinggi: Kemurniannya lebih dari 99,9999999%, yang berarti cincin etsa silikon Semicorex hampir tidak mengandung kotoran. Kemurnian ultra-tinggi ini secara efektif dapat menghindari gangguan dari pengotor komponen selama proses etsa, sehingga menjamin presisi etsa yang tinggi.

Struktur stabil: Silikon monokristalin MCZ memiliki struktur kristal unggul dengan cacat lebih rendah dibandingkan silikon monokristalin CZ konvensional. Struktur kristal yang stabil ini memberikan cincin etsa silikon Semicorex meningkatkan ketahanan korosi terhadap korosi plasma dan memungkinkannya tahan terhadap kondisi pengoperasian etsa yang keras.

Keseragaman resistivitas yang sangat baik:Cincin etsa silikon semicorexmemberikan keseragaman resistensi yang luar biasa dengan RRG <5%. Resolusi Rendah. (<0,02 Ω·cm), Resolusi Tengah. (0,2–25 Ω·cm), Resolusi Tinggi. (>100 Ω·cm). Keseragaman resistivitas yang sangat baik ini dapat meminimalkan distribusi plasma yang tidak merata yang disebabkan oleh resistivitas yang terlalu tinggi atau rendah, sehingga berkontribusi terhadap medan listrik yang ideal untuk etsa plasma presisi tinggi.

2. Pemrosesan presisi dan pemeriksaan kualitas yang ketat

Semicorex memiliki tim teknis berpengalaman yang dapat memberikan penyesuaian yang dipersonalisasi dan evaluasi teknis untuk pelanggan kami yang berharga dan juga telah menetapkan prosedur pemrosesan dan inspeksi yang sistematis untuk menjamin kualitas produk.

Layanan kustomisasi yang fleksibel: Semicorex mendukung kustomisasi berdasarkan gambar pelanggan, dan diameter kustom maksimum cincin etsa silikon dapat mencapai 470mm.

Perawatan permukaan berstandar tinggi: Presisi pemolesan dapat dikontrol secara ketat dalam Ra <0,1 µm, dan penggilingan halus menghasilkan permukaan akhir Ra > 0,1 µm.

Inspeksi kualitas yang ketat: Pengukuran dimensi, pengujian resistivitas, dan inspeksi visual akan dilakukan untuk memastikan cincin etsa silikon bebas dari keripik, goresan, retakan, noda, dan cacat lainnya.