Pembawa Wafer Silikon

Semicorex menyediakan keramik tingkat semikonduktor untuk peralatan semi fabrikasi OEM dan komponen penanganan wafer yang berfokus pada lapisan silikon karbida di industri semikonduktor. Kami telah menjadi produsen dan pemasok Silicon Wafer Carrier selama bertahun-tahun. Silicon Wafer Carrier kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup sebagian besar pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Proses pengendapan semikonduktor menggunakan kombinasi gas prekursor yang mudah menguap, plasma, dan suhu tinggi untuk melapisi film tipis berkualitas tinggi ke dalam wafer. Ruang pengendapan dan alat penanganan wafer memerlukan komponen keramik yang tahan lama agar tahan terhadap lingkungan yang menantang ini.
Semicorex Silicon Wafer Carrier adalah silikon karbida dengan kemurnian tinggi, yang memiliki sifat tahan korosi dan panas yang tinggi serta konduktivitas termal yang sangat baik.

Parameter Pembawa Wafer Silikon

Properti Teknis
Indeks	Satuan	Nilai
Nama Bahan		Reaksi Silikon Karbida Sinter	Silikon Karbida Sinter Tanpa Tekanan	Silikon Karbida yang Dikristalisasi Ulang
Komposisi		RBSiC	SSiC	R-SiC
Kepadatan Massal	gram/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Kekuatan Lentur	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Kekuatan Tekan	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kekerasan	Tombol	2700	2800	/
Melanggar Kegigihan	MPa m1/2	4.5	4	/
Konduktivitas Termal	W/m.k	95	120	23
Koefisien Ekspansi Termal	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Panas Spesifik	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Suhu maksimum di udara	℃	1200	1500	1600
Modulus Elastis	IPK	360	410	240

Perbedaan antara SSiC dan RBSiC:

1. Proses sintering berbeda. RBSiC adalah menyusupkan Si bebas ke dalam silikon karbida pada suhu rendah, SSiC dibentuk oleh penyusutan alami pada 2100 derajat.

2. SSiC memiliki permukaan yang lebih halus, kepadatan lebih tinggi, dan kekuatan lebih tinggi, untuk beberapa penyegelan dengan persyaratan permukaan yang lebih ketat, SSiC akan lebih baik.

3. Waktu penggunaan yang berbeda pada PH dan suhu yang berbeda, SSiC lebih panjang dari RBSiC

Fitur Pembawa Wafer Silikon

Grafit berlapis SiC dengan kemurnian tinggi
Ketahanan panas yang unggul & keseragaman termal
Kristal SiC halus dilapisi untuk permukaan halus
Daya tahan tinggi terhadap pembersihan kimia
Bahan didesain sedemikian rupa agar tidak terjadi keretakan dan delaminasi.

Bentuk keramik silikon karbida yang tersedia：

● Batang keramik / pin keramik / pendorong keramik

● Tabung keramik / bushing keramik / selongsong keramik

● Cincin keramik / mesin cuci keramik / spacer keramik

● Cakram keramik

● Piring keramik/blok keramik

● Bola keramik

● Piston keramik

● Nosel keramik

● Wadah keramik

● Bagian keramik khusus lainnya