Pembawa Wafer Silikon

Semicorex menyediakan keramik kelas semikonduktor untuk alat semifabrikasi OEM dan komponen penanganan wafer yang berfokus pada lapisan silikon karbida di industri semikonduktor. Kami telah menjadi produsen dan pemasok Silicon Wafer Carrier selama bertahun-tahun. Silicon Wafer Carrier kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup sebagian besar pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Proses deposisi semikonduktor menggunakan kombinasi gas prekursor yang mudah menguap, plasma, dan suhu tinggi untuk melapisi film tipis berkualitas tinggi ke wafer. Ruang pengendapan dan alat penanganan wafer memerlukan komponen keramik yang tahan lama untuk menghadapi lingkungan yang menantang ini.
Semicorex Silicon Wafer Carrier adalah silikon karbida dengan kemurnian tinggi, yang memiliki sifat tahan korosi dan panas yang tinggi serta konduktivitas termal yang sangat baik.

Parameter Pembawa Wafer Silikon

Properti Teknis
Indeks	Satuan	Nilai
nama material		Reaksi Sinter Silikon Karbida	Karbida Silikon Sintered Tanpa Tekanan	Karbida Silikon Rekristalisasi
Komposisi		RBSiC	SSIC	R-SiC
Kepadatan Massal	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Kekuatan Lentur	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Kekuatan Kompresif	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kekerasan	Knoop	2700	2800	/
Mematahkan Kegigihan	MPa m1/2	4.5	4	/
Konduktivitas termal	W/m.k	95	120	23
Koefisien Ekspansi Termal	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Panas Spesifik	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Suhu maksimum di udara	℃	1200	1500	1600
Modulus elastis	IPK	360	410	240

Perbedaan antara SSiC dan RBSiC:

1. Proses sintering berbeda. RBSiC adalah untuk menginfiltrasi Si bebas ke dalam silikon karbida pada suhu rendah, SSiC dibentuk oleh penyusutan alami pada 2100 derajat.

2. SSiC memiliki permukaan yang lebih halus, kerapatan lebih tinggi, dan kekuatan lebih tinggi, untuk beberapa penyegelan dengan persyaratan permukaan yang lebih ketat, SSiC akan lebih baik.

3. Waktu penggunaan yang berbeda di bawah PH dan suhu yang berbeda, SSiC lebih lama dari RBSiC

Fitur Pembawa Wafer Silikon

Grafit berlapis SiC dengan kemurnian tinggi
Ketahanan panas yang unggul & keseragaman termal
Lapisan kristal SiC halus untuk permukaan yang halus
Daya tahan tinggi terhadap pembersihan kimia
Material dirancang agar tidak terjadi retak dan delaminasi.

Tersedia bentuk keramik silikon karbidaï¼

â Batang keramik / pin keramik / plunger keramik

â Tabung keramik / busing keramik / lengan keramik

â Cincin keramik / pencuci keramik / spacer keramik

â Cakram keramik

â Piring keramik / blok keramik

â Bola keramik

â Piston keramik

â Nosel keramik

â Wadah keramik

â Bagian keramik khusus lainnya