Cincin Fokus Silikon Karbida Padat

Cincin Fokus Silikon Karbida Padat Semicorex adalah komponen penting dalam manufaktur semikonduktor, ditempatkan secara strategis di luar wafer untuk mempertahankan kontak langsung. Dengan memanfaatkan tegangan yang diberikan, cincin ini memfokuskan plasma yang melintasinya, sehingga meningkatkan keseragaman proses pada wafer. Dibangun hanya dari Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide (CVD SiC), cincin fokus ini mewujudkan kualitas luar biasa yang diminta oleh industri semikonduktor. Kami di Semicorex berdedikasi untuk memproduksi dan memasok Cincin Fokus Karbida Silikon Padat berkinerja tinggi yang memadukan kualitas dengan efisiensi biaya.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Dalam fabrikasi semikonduktor, Cincin Fokus Silikon Karbida Padat Semicorex berperan penting dengan bertindak sebagai pelindung, menjaga integritas wafer selama proses etsa. Desainnya yang dirancang dengan cermat memastikan pengetsaan yang presisi dan seragam, sehingga memfasilitasi produksi elemen semikonduktor yang sangat rumit yang menunjukkan kinerja dan keandalan yang unggul.

Silikon karbida adalah bahan pilihan untuk cincin pemfokusan karena ketahanannya yang unggul terhadap korosi plasma ketika terkena plasma di dalam ruang reaksi vakum. Cincin Pemfokusan Silikon Karbida Padat mengungguli silikon tradisional dalam beberapa aspek, termasuk:

(1) Kepadatan tinggi yang meminimalkan tingkat etsa.

(2) Celah pita yang unggul dan sifat insulasi yang sangat baik.

(3) Konduktivitas termal yang luar biasa, koefisien ekspansi termal rendah, dan ketahanan guncangan termal.

(4) Elastisitas tinggi ditambah dengan ketahanan yang sangat baik terhadap benturan mekanis.

(5) Kekerasan luar biasa, ketahanan aus, dan ketahanan korosi.

Konduktivitas dan ketahanan silikon karbida terhadap etsa ion serupa dengan silikon, sehingga Cincin Fokus Silikon Karbida Padat merupakan bahan yang ideal untuk aplikasi ini.

Cincin Fokus Silikon Karbida Padat Semicorex berdiri sebagai solusi canggih di bidang manufaktur semikonduktor. Ini memanfaatkan sifat unik CVD SiC untuk memfasilitasi proses etsa yang andal dan berkinerja tinggi, sehingga berkontribusi secara signifikan terhadap kemajuan teknologi semikonduktor.