Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus karbida tantalum melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan.
Tantalum karbida (TaC) adalah senyawa yang terdiri dari tantalum dan karbon. Ini memiliki konduktivitas listrik logam dan titik leleh yang sangat tinggi, menjadikannya bahan keramik tahan api yang dikenal karena kekuatan, kekerasan, dan ketahanan panas dan ausnya. Titik leleh Tantalum Carbides memuncak pada sekitar 3880°C bergantung pada kemurniannya dan memiliki salah satu titik leleh tertinggi di antara senyawa biner. Ini membuatnya menjadi alternatif yang menarik ketika permintaan suhu yang lebih tinggi melebihi kemampuan kinerja yang digunakan dalam proses epitaxial semikonduktor majemuk seperti MOCVD dan LPE.
Data material Pelapis TAC Semicorex
Proyek |
Parameter |
Kepadatan |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivitas |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kekerasan (HK) |
2000 |
Perlawanan (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Stabilitas Termal |
<2500â |
Perubahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai referensi) |
Ketebalan Lapisan |
â¥20um nilai khas (35um±10um) |
|
|
Di atas adalah nilai-nilai khas |
|
Susceptor Grafit Berlapis TaC Semicorex yang mutakhir, komponen revolusioner yang dirancang untuk meningkatkan proses epitaksi wafer Anda ke tingkat efisiensi dan presisi baru. Dibuat dengan keahlian tak tertandingi dan memanfaatkan teknologi tercanggih, Semicorex TaC Coated Graphite Susceptor dirancang untuk memenuhi permintaan manufaktur semikonduktor.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex menyediakan Suku Cadang Grafit Dilapisi Tantalum Karbida berkualitas tinggi dengan layanan khusus. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex menyediakan Tantalum Carbide Coated Graphite Susceptor dengan layanan yang disesuaikan. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanGrafit Berpori Berlapis Semicorex TaC, adalah material dengan kemurnian tinggi yang canggih pada pemrosesan semikonduktor. Peralatan penting ini memainkan peran penting dalam proses pertumbuhan SiC kristal tunggal. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSebagai manufaktur profesional, kami ingin memberi Anda Cincin Dilapisi TaC. Memperkenalkan CVD Tac Coated Ring, solusi canggih untuk peralatan semikonduktor. Produk mutakhir ini menawarkan lapisan deposisi uap kimia (CVD) canggih yang memberikan daya tahan dan ketahanan luar biasa terhadap keausan.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanMemperkenalkan cawan lebur berlapis CVD Tac, solusi sempurna untuk produsen peralatan semikonduktor dan pengguna yang menuntut tingkat kualitas dan kinerja tertinggi. Crucible kami dilapisi dengan lapisan CVD Tac (tantalum carbide) yang canggih, yang memberikan ketahanan unggul terhadap korosi dan keausan, menjadikannya ideal untuk digunakan dalam berbagai aplikasi semikonduktor.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan