Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan.
Tantalum karbida (TaC) merupakan senyawa yang terdiri dari tantalum dan karbon. Ia memiliki konduktivitas listrik logam dan titik leleh yang sangat tinggi, menjadikannya bahan keramik tahan api yang dikenal karena kekuatan, kekerasan, serta ketahanan terhadap panas dan aus. Titik leleh Tantalum Karbida mencapai puncaknya sekitar 3880°C tergantung pada kemurniannya dan merupakan salah satu titik leleh tertinggi di antara senyawa biner. Hal ini menjadikannya alternatif yang menarik ketika tuntutan suhu yang lebih tinggi melebihi kemampuan kinerja yang digunakan dalam proses epitaksi semikonduktor majemuk seperti MOCVD dan LPE.
Data material Lapisan Semicorex TaC
Proyek |
Parameter |
Kepadatan |
14,3 (gram/cm³) |
Emisivitas |
0.3 |
KTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kekerasan (HK) |
2000 |
Resistansi (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Stabilitas Termal |
<2500℃ |
Perubahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai referensi) |
Ketebalan Lapisan |
≥20um nilai tipikal (35um±10um) |
|
|
Di atas adalah nilai-nilai tipikal |
|
Semicorex TaC Coated Graphite Chuck adalah komponen berkinerja tinggi yang dirancang untuk penanganan wafer yang presisi dan proses suhu tinggi dalam manufaktur semikonduktor. Pilih Semicorex karena produknya yang inovatif dan tahan lama yang menjamin kinerja optimal dan umur panjang dalam aplikasi semikonduktor yang menuntut.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Semicorex TaC adalah komponen berkinerja tinggi yang dirancang untuk pertumbuhan kristal tunggal SiC, memastikan distribusi aliran gas dan kontrol suhu yang optimal. Pilih Semicorex karena keahlian kami dalam material canggih dan rekayasa presisi, yang memberikan solusi tahan lama dan andal yang meningkatkan efisiensi dan kualitas proses semikonduktor Anda.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Tantalum Carbide Part adalah komponen grafit berlapis TaC yang dirancang untuk penggunaan kinerja tinggi dalam aplikasi pertumbuhan kristal silikon karbida (SiC), menawarkan suhu dan ketahanan kimia yang sangat baik. Pilih Semicorex untuk komponen berkualitas tinggi yang andal yang meningkatkan kualitas kristal dan efisiensi produksi dalam manufaktur semikonduktor.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Semicorex Tantalum Carbide adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor tingkat lanjut. Dikenal karena kekerasannya yang luar biasa, titik leleh yang tinggi, dan kelembaman bahan kimia, Di Semicorex, kami berdedikasi untuk memberikan produk yang memenuhi standar kualitas dan kinerja tertinggi, memastikan bahwa klien kami tetap menjadi yang terdepan dalam inovasi dalam industri semikonduktor.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor adalah baki grafit yang dilapisi dengan tantalum karbida, digunakan dalam pertumbuhan epitaksi silikon karbida untuk meningkatkan kualitas dan kinerja wafer. Pilih Semicorex karena teknologi pelapisannya yang canggih dan solusi tahan lama yang memastikan hasil epitaksi SiC yang unggul dan masa pakai suseptor yang lebih lama.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Panduan Pelapisan TaC adalah cincin grafit dengan lapisan tantalum karbida, dirancang untuk digunakan dalam tungku pertumbuhan kristal silikon karbida untuk meningkatkan kualitas kristal. Pilih Semicorex karena teknologi pelapisannya yang canggih, memastikan daya tahan yang unggul, stabilitas termal, dan kinerja pertumbuhan kristal yang optimal.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan