Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus karbida tantalum melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan.
Tantalum karbida (TaC) adalah senyawa yang terdiri dari tantalum dan karbon. Ini memiliki konduktivitas listrik logam dan titik leleh yang sangat tinggi, menjadikannya bahan keramik tahan api yang dikenal karena kekuatan, kekerasan, dan ketahanan panas dan ausnya. Titik leleh Tantalum Carbides memuncak pada sekitar 3880°C bergantung pada kemurniannya dan memiliki salah satu titik leleh tertinggi di antara senyawa biner. Ini membuatnya menjadi alternatif yang menarik ketika permintaan suhu yang lebih tinggi melebihi kemampuan kinerja yang digunakan dalam proses epitaxial semikonduktor majemuk seperti MOCVD dan LPE.
Data material Pelapis TAC Semicorex
Proyek |
Parameter |
Kepadatan |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivitas |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kekerasan (HK) |
2000 |
Perlawanan (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Stabilitas Termal |
<2500â |
Perubahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai referensi) |
Ketebalan Lapisan |
â¥20um nilai khas (35um±10um) |
|
|
Di atas adalah nilai-nilai khas |
|
Suku Cadang Grafit Dilapisi Semicorex TaC adalah komponen yang dibuat dengan presisi yang dirancang khusus untuk tahan terhadap lingkungan pemrosesan semikonduktor yang menuntut. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex TaC Coating Graphite Cover mewakili solusi mutakhir dalam bidang aplikasi termal untuk pertumbuhan kristal dan proses epitaksi (epi). Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Pelapis Semicorex TaC berdiri sebagai komponen penting dalam bidang pertumbuhan monokristal dalam bidang termal. Dibuat dengan presisi dan inovasi, cincin pemandu khusus ini memainkan peran penting dalam proses rumit produksi material monokristalin. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex TaC Coated Wafer Susceptor adalah komponen penting yang digunakan dalam tungku Deposisi Uap Kimia Organik Logam (MOCVD) untuk pemrosesan epitaksi semikonduktor (epi). Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat Dilapisi Tantalum Karbida Semicorex TaC adalah solusi mutakhir yang dirancang untuk memenuhi tuntutan ketat manufaktur semikonduktor, khususnya pada tahap pemrosesan epitaksi (epi). Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex TaC Coated Guide Ring, puncak inovasi dalam tungku pertumbuhan kristal tunggal SiC (Silicon Carbide). Dirancang dengan cermat untuk memenuhi tuntutan industri semikonduktor, cincin panduan ini menjanjikan untuk mendefinisikan ulang proses pertumbuhan kristal Anda dengan presisi dan keandalan yang tak tertandingi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan