Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan.
Tantalum karbida (TaC) merupakan senyawa yang terdiri dari tantalum dan karbon. Ia memiliki konduktivitas listrik logam dan titik leleh yang sangat tinggi, menjadikannya bahan keramik tahan api yang dikenal karena kekuatan, kekerasan, serta ketahanan terhadap panas dan aus. Titik leleh Tantalum Karbida mencapai puncaknya sekitar 3880°C tergantung pada kemurniannya dan merupakan salah satu titik leleh tertinggi di antara senyawa biner. Hal ini menjadikannya alternatif yang menarik ketika tuntutan suhu yang lebih tinggi melebihi kemampuan kinerja yang digunakan dalam proses epitaksi semikonduktor majemuk seperti MOCVD dan LPE.
Data material Lapisan Semicorex TaC
Proyek |
Parameter |
Kepadatan |
14,3 (gram/cm³) |
Emisivitas |
0.3 |
KTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kekerasan (HK) |
2000 |
Resistansi (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Stabilitas Termal |
<2500℃ |
Perubahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai referensi) |
Ketebalan Lapisan |
≥20um nilai tipikal (35um±10um) |
|
|
Di atas adalah nilai-nilai tipikal |
|
Cincin Panduan Pelapisan Semicorex TaC berfungsi sebagai bagian terpenting dalam peralatan deposisi uap kimia organik-logam (MOCVD), memastikan pengiriman gas prekursor secara tepat dan stabil selama proses pertumbuhan epitaksi. Cincin Panduan Pelapisan TaC mewakili serangkaian sifat yang menjadikannya ideal untuk menahan kondisi ekstrem yang ditemukan di dalam ruang reaktor MOCVD.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex TaC Coating Wafer Chuck berdiri sebagai puncak inovasi dalam proses epitaksi semikonduktor, sebuah fase penting dalam manufaktur semikonduktor. Dengan komitmen kami untuk menghadirkan produk berkualitas terbaik dengan harga bersaing, kami siap menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex MOCVD Susceptor dengan TaC Coating adalah komponen mutakhir yang dibuat dengan cermat untuk kinerja optimal dalam proses epitaksi semikonduktor dalam sistem MOCVD. Semicorex teguh dalam komitmen kami untuk memberikan produk unggulan dengan harga yang sangat kompetitif. Kami sangat ingin menjalin kemitraan jangka panjang dengan Anda di Tiongkok.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Dilapisi Semicorex CVD TaC berperan sebagai komponen penting dalam pemrosesan semikonduktor, melambangkan puncak rekayasa material modern. Dibuat untuk diterapkan di lingkungan paling ketat yang mengutamakan presisi dan keandalan, cincin ini mewujudkan perpaduan teknik pelapisan mutakhir dengan ilmu material yang tangguh. Semicorex dengan setia menghadirkan produk-produk papan atas dengan harga bersaing, dan kami sangat menantikan terjalinnya kemitraan jangka panjang dengan Anda di Tiongkok.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex TaC Coated Planetary Susceptor adalah komponen sangat khusus yang dirancang untuk digunakan dalam proses epitaksi manufaktur semikonduktor. Semicorex berdedikasi untuk memberikan produk berkualitas tinggi dengan harga bersaing. Kami sangat ingin menjalin kemitraan jangka panjang dengan Anda di Tiongkok.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Panduan Pelapisan Tantalum Karbida Semicorex adalah komponen canggih yang dirancang khusus untuk industri semikonduktor, memainkan peran penting dalam pertumbuhan kristal Silikon Karbida (SiC). Produk ini dirancang untuk memenuhi tuntutan ketat lingkungan bersuhu tinggi dan bertekanan tinggi yang melekat dalam proses pertumbuhan kristal semikonduktor. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China*.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan