Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan.
Tantalum karbida (TaC) merupakan senyawa yang terdiri dari tantalum dan karbon. Ia memiliki konduktivitas listrik logam dan titik leleh yang sangat tinggi, menjadikannya bahan keramik tahan api yang dikenal karena kekuatan, kekerasan, serta ketahanan terhadap panas dan aus. Titik leleh Tantalum Karbida mencapai puncaknya sekitar 3880°C tergantung pada kemurniannya dan merupakan salah satu titik leleh tertinggi di antara senyawa biner. Hal ini menjadikannya alternatif yang menarik ketika tuntutan suhu yang lebih tinggi melebihi kemampuan kinerja yang digunakan dalam proses epitaksi semikonduktor majemuk seperti MOCVD dan LPE.
Data material Lapisan Semicorex TaC
Proyek |
Parameter |
Kepadatan |
14,3 (gram/cm³) |
Emisivitas |
0.3 |
KTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kekerasan (HK) |
2000 |
Resistansi (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Stabilitas Termal |
<2500℃ |
Perubahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai referensi) |
Ketebalan Lapisan |
≥20um nilai tipikal (35um±10um) |
|
|
Di atas adalah nilai-nilai tipikal |
|
Cincin Segel berlapis Semicorex TaC yang diterapkan pada komponen penyegelan memberikan keunggulan kinerja luar biasa dalam lingkungan fabrikasi semikonduktor yang menuntut. Pelapisan TaC mengatasi tantangan penting terkait ketahanan terhadap bahan kimia, suhu ekstrem, dan keausan mekanis, memungkinkan hasil proses yang lebih tinggi, peningkatan waktu kerja peralatan, dan pada akhirnya, menurunkan biaya produksi. Kami di Semicorex berdedikasi untuk memproduksi dan memasok Cincin Segel berlapis TaC berkinerja tinggi yang memadukan kualitas dengan efisiensi biaya.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Tantalum Carbide Coated Susceptor adalah komponen penting, memainkan peran penting dalam proses pengendapan yang penting untuk membuat wafer semikonduktor. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China*.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Tantalum Carbide Chuck adalah komponen canggih yang digunakan dalam peralatan manufaktur semikonduktor, terkenal dengan sifat termal dan mekaniknya yang luar biasa. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China*.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Dilapisi Semicorex TaC berdiri sebagai komponen penting yang memenuhi persyaratan yang menuntut ini. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China*.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPancuran berlapis Semicorex TaC merupakan bagian integral dari proses pengendapan uap kimia, memberikan kinerja dan umur panjang yang tak tertandingi. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China*.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanChuck berlapis Semicorex TaC mewakili kemajuan signifikan dalam bidang manufaktur semikonduktor. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China*.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan