Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan.
Tantalum karbida (TaC) merupakan senyawa yang terdiri dari tantalum dan karbon. Ia memiliki konduktivitas listrik logam dan titik leleh yang sangat tinggi, menjadikannya bahan keramik tahan api yang dikenal karena kekuatan, kekerasan, serta ketahanan terhadap panas dan aus. Titik leleh Tantalum Karbida mencapai puncaknya sekitar 3880°C tergantung pada kemurniannya dan merupakan salah satu titik leleh tertinggi di antara senyawa biner. Hal ini menjadikannya alternatif yang menarik ketika tuntutan suhu yang lebih tinggi melebihi kemampuan kinerja yang digunakan dalam proses epitaksi semikonduktor majemuk seperti MOCVD dan LPE.
Data material Lapisan Semicorex TaC
Proyek |
Parameter |
Kepadatan |
14,3 (gram/cm³) |
Emisivitas |
0.3 |
KTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kekerasan (HK) |
2000 |
Resistansi (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Stabilitas Termal |
<2500℃ |
Perubahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai referensi) |
Ketebalan Lapisan |
≥20um nilai tipikal (35um±10um) |
|
|
Di atas adalah nilai-nilai tipikal |
|
Cincin Dilapisi Karbida Semicorex Tantalum adalah komponen penting yang digunakan dalam pemrosesan semikonduktor. Ini dirancang dengan lapisan khusus yang memiliki berbagai fungsi untuk meningkatkan efisiensi dan umur panjang komponen grafit dalam mesin semikonduktor. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSuku Cadang Grafit Dilapisi Semicorex TaC adalah komponen yang dibuat dengan presisi yang dirancang khusus untuk tahan terhadap lingkungan pemrosesan semikonduktor yang menuntut. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPenutup Grafit Lapisan Semicorex TaC mewakili solusi mutakhir dalam bidang aplikasi termal untuk pertumbuhan kristal dan proses epitaksi (epi). Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Pelapis Semicorex TaC berdiri sebagai komponen penting dalam bidang pertumbuhan monokristal dalam bidang termal. Dibuat dengan presisi dan inovasi, cincin pemandu khusus ini memainkan peran penting dalam proses rumit produksi material monokristalin. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex TaC Coated Wafer Susceptor adalah komponen penting yang digunakan dalam tungku Deposisi Uap Kimia Organik Logam (MOCVD) untuk pemrosesan epitaksi semikonduktor (epi). Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat Dilapisi Tantalum Karbida Semicorex TaC adalah solusi mutakhir yang dirancang untuk memenuhi tuntutan ketat manufaktur semikonduktor, khususnya pada tahap pemrosesan epitaksi (epi). Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan