Wafer Boat untuk Proses Semikonduktor

Semicorex menyediakan perahu wafer, tumpuan, dan pembawa wafer khusus untuk konfigurasi vertikal / kolom dan horizontal. Kami telah menjadi produsen dan pemasok film pelapis silikon karbida selama bertahun-tahun. Wafer Boat untuk Proses Semikonduktor kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup sebagian besar pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Semicorex SiC Wafer Boat untuk Proses Semikonduktor, solusi terbaik untuk penanganan dan perlindungan wafer dalam pembuatan semikonduktor. Perahu wafer kami untuk proses semikonduktor terbuat dari silikon karbida berkualitas tinggi, yang memiliki ketahanan yang baik terhadap korosi dan ketahanan yang sangat baik terhadap suhu tinggi dan kejutan termal. Keramik canggih memberikan ketahanan panas yang sangat baik dan daya tahan plasma sambil mengurangi partikel dan kontaminan untuk pembawa wafer berkapasitas tinggi.

Parameter Wafer Boat untuk Proses Semikonduktor

Properti Teknis
Indeks	Satuan	Nilai
nama material		Reaksi Sinter Silikon Karbida	Karbida Silikon Sintered Tanpa Tekanan	Karbida Silikon Rekristalisasi
Komposisi		RBSiC	SSIC	R-SiC
Kepadatan Massal	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Kekuatan Lentur	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Kekuatan Kompresif	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kekerasan	Knoop	2700	2800	/
Mematahkan Kegigihan	MPa m1/2	4.5	4	/
Konduktivitas termal	W/m.k	95	120	23
Koefisien Ekspansi Termal	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Panas Spesifik	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Suhu maksimum di udara	℃	1200	1500	1600
Modulus elastis	IPK	360	410	240

Fitur Wafer Boat untuk Proses Semikonduktor

Ketahanan panas yang unggul & keseragaman termal
Lapisan kristal SiC halus untuk permukaan yang halus
Daya tahan tinggi terhadap pembersihan kimia
Material dirancang agar tidak terjadi retak dan delaminasi.