Perahu wafer

Kapal wafer semikorex yang diproduksi dari silikon karbida dengan kemurnian tinggi (SIC) adalah komponen penting dalam pembuatan semikonduktor. Proses semikonduktor di mana mereka digunakan biasanya mencakup lingkungan suhu tinggi dan korosif seperti difusi, oksidasi, dan proses LPCVD. Penerapan kapal wafer SiC telah direkayasa untuk memaksimalkan stabilitas termal dan ketahanan kimia, memungkinkan dukungan optimal, penyelarasan dan pengangkutan wafer silikon selama pemrosesan untuk hasil yang optimal dan kinerja perangkat.

Silikon karbida didokumentasikan dengan baik sebagai keramik konduktif termal yang sangat baik, menunjukkan kekuatan mekanik yang tinggi dan ketahanan guncangan termal yang superior, resistensi oksidasi, dan ketahanan kimia yang agresif dengan bahan kimia seperti HF dan HCl. Sifat-sifat SiC membuatnya sangat menarik sebagai bahan untuk perahu wafer untuk proses fabrikasi semikonduktor generasi berikutnya dan di lingkungan suhu tinggi. SIC Wafer Boats dapat mempertahankan integritas struktural dan stabilitas dimensi pada suhu proses> 1500 ° C, meminimalkan risiko warping atau kontaminasi wafer dalam perawatan termal kritis.

Setiap sicperahu waferdiproduksi dari SIC dengan kemurnian tinggi menggunakan proses pembentukan keramik canggih dan sintering, dan dapat dirancang untuk beragam diameter wafer (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm) serta menumpuk konfigurasi apakah vertikal atau horizontal. Kapal wafer SIC kami memiliki permukaan yang halus dan kerataan yang sangat baik yang meminimalkan generasi partikel dan ideal untuk sistem penanganan wafer otomatis.

Kontrol dan hasil kontaminasi adalah dua masalah paling kritis di Fabs modern. Kebersihan dan ketergantungan pembawa wafer sic mempengaruhi kualitas produk dan kinerja proses konsistensi.  Kapal wafer sic memiliki umur panjang yang jauh lebih baik untuk penggunaan, memiliki persyaratan pemeliharaan yang lebih sedikit dan TCO yang lebih rendah daripada alternatif berbasis kuarsa atau alumina. Umur panjang yang lebih baik juga berarti lebih sedikit masalah dengan pelepasan partikel mikro, oleh karena itu lagi, memengaruhi kebersihan permukaan wafer dan memengaruhi kebersihan kamar yang bersih.

Semicorex berfokus pada merancang dan memproduksi kapal wafer sic yang menggunakan bahan baku kemurnian setinggi mungkin dikombinasikan dengan sintering atmosfer kontaminasi rendah.  Kami melakukan segala upaya untuk mempertahankan tingkat pengotor yang rendah, untuk mempertahankan porositas pada nilai rendah, dan mikrostruktur yang seragam sehingga pekerjaan tim dapat secara teratur menikmati karakteristik termal yang konsisten, jarak wafer yang tepat dan ketahanan degradasi kimia yang tak tertandingi.

Semicorex sicperahu waferadalah elemen yang diperlukan dari pemrosesan suhu tinggi semikonduktor. Kapal wafer silikon silikon tinggi memiliki karakteristik material yang tak tertandingi, keunggulan rekayasa, dan temperamen bebas kontaminasi mikro, menjadikannya pilihan tingkat tinggi untuk fabrikasi wafer berkinerja tinggi. Semicorex memberikan keandalan dan kinerja tinggi yang inovatif untuk mendukung proses semikonduktor paling penting Anda.