Pemolesan permukaan wafer silikon adalah proses penting dalam pembuatan semikonduktor. Tujuan utamanya adalah untuk mencapai standar kerataan dan kekasaran permukaan yang sangat tinggi dengan menghilangkan cacat mikro, lapisan kerusakan akibat tekanan, dan kontaminasi dari kotoran seperti ion logam.
Baca selengkapnyaKetika titik-titik teknologi terus menyusut, pembentukan persimpangan yang sangat dangkal menghadirkan tantangan yang signifikan. Proses anil termal termasuk anil termal cepat (RTA) dan anil lampu flash (FLA) adalah teknik penting yang mempertahankan tingkat aktivasi pengotor yang tinggi sekaligus m......
Baca selengkapnya