Saat ini, metode sintesis bubuk SiC dengan kemurnian tinggi untuk menumbuhkan kristal tunggal terutama meliputi: metode CVD dan peningkatan metode sintesis propagasi diri (juga dikenal sebagai metode sintesis suhu tinggi atau metode pembakaran).
Baca selengkapnyaBagian keramik presisi adalah komponen kunci dari peralatan inti dalam proses utama manufaktur semikonduktor, seperti fotolitografi, etsa, deposisi film tipis, implantasi ion, CMP, dll., Seperti bantalan, rel pemandu, liner, chuck elektrostatik, lengan handling mekanis, lengan handling mekanis, leng......
Baca selengkapnya