Tungku difusi adalah peralatan khusus yang digunakan untuk memasukkan pengotor ke dalam wafer semikonduktor dengan cara yang terkendali. Pengotor ini, yang disebut dopan, mengubah sifat listrik semikonduktor, memungkinkan pembuatan berbagai jenis komponen elektronik. Proses difusi terkendali ini san......
Baca selengkapnyaAda dua jenis epitaksi: homogen dan heterogen. Untuk menghasilkan perangkat SiC dengan resistansi spesifik dan parameter lain untuk aplikasi berbeda, substrat harus memenuhi kondisi epitaksi sebelum produksi dapat dimulai. Kualitas epitaksi mempengaruhi kinerja perangkat.
Baca selengkapnya