Pembawa Lapisan SiC RTP

Semicorex RTP SiC Coating Carrier menawarkan ketahanan panas dan keseragaman termal yang unggul, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer semikonduktor. Dengan grafit berlapis SiC berkualitas tinggi, produk ini dirancang untuk tahan terhadap lingkungan pengendapan paling keras untuk pertumbuhan epitaxial. Konduktivitas termal yang tinggi dan sifat distribusi panas yang sangat baik memastikan kinerja yang andal untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

RTP SiC Coating Carrier kami direkayasa untuk tahan terhadap kondisi terberat dari lingkungan pengendapan. Dengan ketahanan panas dan korosi yang tinggi, susceptor epitaxy mengalami lingkungan pengendapan yang sempurna untuk pertumbuhan epitaksi. Lapisan kristal SiC yang halus pada carrier memastikan permukaan yang halus dan daya tahan yang tinggi terhadap pembersihan bahan kimia, sementara materialnya direkayasa untuk mencegah keretakan dan delaminasi.
Di Semicorex, kami fokus untuk menyediakan pembawa pelapis RTP SiC berkualitas tinggi dan hemat biaya, kami memprioritaskan kepuasan pelanggan dan memberikan solusi hemat biaya. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas tinggi dan layanan pelanggan yang luar biasa.
Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang RTP SiC Coating Carrier kami.

Parameter RTP SiC Coating Carrier

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur kristal	FCC Î² fase
Kepadatan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran butir	Î¼m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 titik)	415
Modulus muda	Gpa (tikungan 4pt, 1300â)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur RTP SiC Coating Carrier

Grafit berlapis SiC dengan kemurnian tinggi
Ketahanan panas yang unggul & keseragaman termal
Lapisan kristal SiC halus untuk permukaan yang halus
Daya tahan tinggi terhadap pembersihan kimia
Material dirancang agar tidak terjadi retak dan delaminasi.