Pembawa RTP Semicorex adalah silikon karbida yang dilapisi menggunakan proses deposisi uap kimia (CVD), yang sangat stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan kimia keras. Inti dari proses semikonduktor, yaitu suseptor epitaksi, terlebih dahulu dikenai lingkungan pengendapan, sehingga memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi. Pembawa berlapis SiC juga memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.
● Grafit berlapis SiC dengan kemurnian tinggi
● Ketahanan panas dan ketahanan kimia yang unggul
● Keseragaman termal yang tinggi
● Ketahanan aus yang sangat baik
Semicorex RTP Carrier for MOCVD Epitaxial Growth is ideal for semiconductor wafer processing applications, including epitaxial growth and wafer handling processing. Carbon graphite susceptors and quartz crucibles are processed by MOCVD on the surface of graphite, ceramics, etc. Our products have a good price advantage and cover many of the European and American markets. We look forward to becoming your long-term partner in China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan