Pembawa RTP Semicorex adalah silikon karbida yang dilapisi menggunakan proses pengendapan uap kimia (CVD), yang sangat stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia yang keras. Pada inti dari proses semikonduktor, susceptors epitaxy pertama mengalami lingkungan pengendapan, sehingga memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi. Pembawa berlapis SiC juga memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.
â Grafit berlapis SiC dengan kemurnian tinggi
â Ketahanan panas dan ketahanan kimia yang unggul
â Keseragaman termal yang tinggi
â Ketahanan aus yang sangat baik
Semicorex RTP Carrier untuk MOCVD Epitaxial Growth ideal untuk aplikasi pemrosesan wafer semikonduktor, termasuk pertumbuhan epitaxial dan pemrosesan penanganan wafer. Susceptor grafit karbon dan cawan lebur kuarsa diproses oleh MOCVD pada permukaan grafit, keramik, dll. Produk kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan