> Produk > Dilapisi Silikon Karbida > Pembawa RTP > Pelat Pembawa RTP Dilapisi SiC untuk Pertumbuhan Epitaksi

Produk

produk baru

Pelat Pembawa RTP Dilapisi SiC untuk Pertumbuhan Epitaksi

Pelat Pembawa RTP Dilapisi Semicorex SiC untuk Pertumbuhan Epitaxial adalah solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer semikonduktor. Dengan suseptor grafit karbon berkualitas tinggi dan cawan lebur kuarsa yang diproses oleh MOCVD pada permukaan grafit, keramik, dll., produk ini ideal untuk penanganan wafer dan pemrosesan pertumbuhan epitaksi. Pembawa berlapis SiC memastikan konduktivitas termal yang tinggi dan sifat distribusi panas yang sangat baik, menjadikannya pilihan yang dapat diandalkan untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Pelat Pembawa RTP Berlapis SiC kami untuk Pertumbuhan Epitaxial dirancang untuk tahan terhadap kondisi lingkungan pengendapan yang paling sulit. Dengan ketahanan panas dan korosi yang tinggi, suseptor epitaksi berada pada lingkungan pengendapan yang sempurna untuk pertumbuhan epitaksi. Lapisan kristal SiC halus pada pembawa memastikan permukaan halus dan daya tahan tinggi terhadap pembersihan kimia, sementara material dirancang untuk mencegah retak dan delaminasi.
Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang Pelat Pembawa RTP Berlapis SiC untuk Pertumbuhan Epitaksi.

Parameter Pelat Pembawa RTP Dilapisi SiC untuk Pertumbuhan Epitaksi

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	fase FCC β
Kepadatan	gram/cm³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Ukuran Butir	m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Felekural	MPa (RT 4 poin)	415
Modulus Young	IPK (tikungan 4pt, 1300℃)	430
Ekspansi Termal (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Pelat Pembawa RTP Dilapisi SiC untuk Pertumbuhan Epitaksi

Grafit berlapis SiC dengan kemurnian tinggi
Ketahanan panas yang unggul & keseragaman termal
Kristal SiC halus dilapisi untuk permukaan halus
Daya tahan tinggi terhadap pembersihan kimia
Bahan didesain sedemikian rupa agar tidak terjadi keretakan dan delaminasi.