Pelapisan SiC merupakan lapisan tipis pada suseptor melalui proses deposisi uap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan sejumlah keunggulan dibandingkan silikon, termasuk 10x kekuatan medan listrik kerusakan, 3x celah pita, yang memberikan bahan tersebut ketahanan suhu dan bahan kimia yang tinggi, ketahanan aus yang sangat baik, serta konduktivitas termal.
Semicorex memberikan layanan yang disesuaikan, membantu Anda berinovasi dengan komponen yang bertahan lebih lama, mengurangi waktu siklus, dan meningkatkan hasil.
Lapisan SiC memiliki beberapa keunggulan unik
Ketahanan Suhu Tinggi: Susceptor berlapis CVD SiC dapat menahan suhu tinggi hingga 1600°C tanpa mengalami degradasi termal yang signifikan.
Ketahanan Kimia: Lapisan silikon karbida memberikan ketahanan yang sangat baik terhadap berbagai bahan kimia, termasuk asam, basa, dan pelarut organik.
Ketahanan Aus: Lapisan SiC memberikan ketahanan aus yang sangat baik pada material, sehingga cocok untuk aplikasi yang melibatkan keausan tinggi.
Konduktivitas Termal: Lapisan CVD SiC memberikan material dengan konduktivitas termal yang tinggi, sehingga cocok untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan perpindahan panas yang efisien.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Susceptor berlapis silikon karbida memberikan material dengan kekuatan dan kekakuan tinggi, sehingga cocok untuk aplikasi yang membutuhkan kekuatan mekanik tinggi.
Lapisan SiC digunakan dalam berbagai aplikasi
Manufaktur LED: Susceptor berlapis CVD SiC digunakan dalam proses pembuatan berbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV, dan LED UV dalam, karena konduktivitas termal yang tinggi dan ketahanan terhadap bahan kimia.
Komunikasi seluler: Susceptor berlapis CVD SiC adalah bagian penting dari HEMT untuk menyelesaikan proses epitaksi GaN-on-SiC.
Pemrosesan Semikonduktor: Susceptor berlapis CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk berbagai aplikasi, termasuk pemrosesan wafer dan pertumbuhan epitaksi.
Komponen grafit berlapis SiC
Dibuat dengan grafit Silicon Carbide Coating (SiC), pelapisan ini diterapkan dengan metode CVD pada tingkat tertentu grafit kepadatan tinggi, sehingga dapat beroperasi di tungku suhu tinggi dengan suhu lebih dari 3000 °C dalam atmosfer inert, 2200 °C dalam ruang hampa. .
Sifat khusus dan massa material yang rendah memungkinkan laju pemanasan yang cepat, distribusi suhu yang seragam, dan presisi pengendalian yang luar biasa.
Data material Lapisan SiC Semicorex
Properti khas |
Satuan |
Nilai-nilai |
Struktur |
|
Fase FCC β |
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 lebih disukai |
Kepadatan massal |
gram/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasitas Panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Ekspansi termal 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Young |
IPK (tikungan 4pt, 1300℃) |
430 |
Ukuran Butir |
m |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Felekural |
MPa (RT 4 poin) |
415 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Susceptor berlapis CVD SiC merupakan material komposit yang menggabungkan sifat susceptor dan silikon karbida. Bahan ini memiliki sifat unik, termasuk ketahanan terhadap suhu dan bahan kimia yang tinggi, ketahanan aus yang sangat baik, konduktivitas termal yang tinggi, serta kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Sifat-sifat ini menjadikannya bahan yang menarik untuk berbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemrosesan semikonduktor, pemrosesan kimia, perlakuan panas, pembuatan sel surya, dan pembuatan LED.
Semicorex Silicon Pedestal, komponen yang sering diabaikan namun sangat penting, memainkan peran penting dalam mencapai hasil yang tepat dan berulang dalam proses difusi dan oksidasi semikonduktor. Platform khusus ini, di mana perahu silikon diletakkan di dalam tungku bersuhu tinggi, menawarkan keunggulan unik yang secara langsung berkontribusi pada peningkatan keseragaman suhu, peningkatan kualitas wafer, dan pada akhirnya, kinerja perangkat semikonduktor yang unggul.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Silicon Annealing Boat, dirancang dengan cermat untuk menangani dan memproses wafer silikon, memainkan peran penting dalam mencapai perangkat semikonduktor berkinerja tinggi. Fitur desain dan sifat materialnya yang unik menjadikannya penting untuk langkah fabrikasi penting seperti difusi dan oksidasi, memastikan pemrosesan yang seragam, memaksimalkan hasil, dan berkontribusi terhadap kualitas dan keandalan perangkat semikonduktor secara keseluruhan.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex MOCVD Epitaxy Susceptor telah muncul sebagai komponen penting dalam epitaksi Deposisi Uap Kimia Logam-Organik (MOCVD), memungkinkan pembuatan perangkat semikonduktor berkinerja tinggi dengan efisiensi dan presisi luar biasa. Kombinasi unik dari sifat materialnya membuatnya sangat cocok untuk lingkungan termal dan kimia yang menuntut selama pertumbuhan epitaksi semikonduktor senyawa.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPerahu Wafer SiC Horisontal Semicorex telah muncul sebagai alat yang sangat diperlukan dalam produksi perangkat semikonduktor dan fotovoltaik berkinerja tinggi. Pengangkut khusus ini, yang dirancang dengan cermat dari silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi, menawarkan sifat termal, kimia, dan mekanik luar biasa yang penting untuk proses berat yang terlibat dalam pembuatan komponen elektronik mutakhir.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Multi Pocket Susceptor mewakili teknologi penting yang memungkinkan pertumbuhan epitaksi wafer semikonduktor berkualitas tinggi. Dibuat melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang canggih, susceptor ini menyediakan platform yang kuat dan berkinerja tinggi untuk mencapai keseragaman lapisan epitaksi yang luar biasa dan efisiensi proses.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPerahu Wafer Keramik Semicorex SiC telah muncul sebagai teknologi pendukung yang penting, menyediakan platform yang tak tergoyahkan untuk pemrosesan suhu tinggi sekaligus menjaga integritas wafer dan memastikan kemurnian yang diperlukan untuk perangkat berkinerja tinggi. Ini disesuaikan dengan industri semikonduktor dan fotovoltaik yang dibangun berdasarkan presisi. Setiap aspek pemrosesan wafer, mulai dari pengendapan hingga difusi, memerlukan kontrol yang cermat dan lingkungan yang murni. Kami di Semicorex berdedikasi untuk memproduksi dan memasok Perahu Wafer Keramik SiC berkinerja tinggi yang memadukan kualitas dengan efisiensi biaya.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan