Elektroda Silikon Kristal Tunggal

Elektroda silikon kristal tunggalbiasanya dipasang di bagian atas ruang etsa, berfungsi sebagai elektroda atas. Permukaan elektroda silikon kristal tunggal memiliki lubang mikro yang terdistribusi secara merata, yang dapat mengalirkan gas etsa secara merata ke dalam ruang reaksi. Selama proses etsa, mereka bekerja dengan elektroda bawah untuk menghasilkan medan listrik yang seragam, yang berkontribusi dalam menyediakan kondisi pengoperasian ideal untuk etsa presisi.

Pemilihan bahan yang cermat

Semicorex memilih silikon monokristalin premium yang dikembangkan MCZ untuk memproduksi elektroda silikon kristal tunggal, menawarkan kinerja dan kualitas produk terdepan di industri.

1. Kemurnian sangat tinggi

Elektroda silikon kristal tunggal Semicorex memiliki kemurnian sangat tinggi lebih dari 99,9999999%, yang berarti kandungan pengotor logam internal sangat rendah.

2. Keseragaman ketahanan yang luar biasa

Berbeda dari silikon kristal tunggal CZ konvensional, silikon monokristalin yang dikembangkan MCZ yang digunakan oleh Semicorex mencapai keseragaman resistivitas di bawah 5%. Resolusinya rendah. dikontrol di bawah 0,02 Ω·cm, resolusi tengah. adalah antara 0,2 dan 25Ω·cm, dan resolusi tinggi. adalah antara 70-90 Ω·cm (kustomisasi tersedia berdasarkan permintaan).

3. Struktur material yang sangat baik

Silikon kristal tunggal yang ditanam melalui metode MCZ menawarkan struktur yang lebih stabil dan lebih sedikit cacat, membuat elektroda silikon kristal tunggal Semicorex memberikan ketahanan korosi plasma yang luar biasa dan tahan terhadap kondisi pengoperasian etsa yang keras.

---

Presisi pemrosesan berstandar tinggi

Semicorexsilikon kristal tunggalelektroda diproduksi melalui proses produksi lengkap mulai dari ingot silikon hingga produk jadi, termasuk pengirisan, penggilingan permukaan, pengeboran lubang, etsa basah, dan pemolesan permukaan. Semicorex menjunjung kontrol presisi yang ketat di setiap langkah untuk memastikan diameter, ketebalan, planaritas permukaan, jarak lubang, dan bukaan elektroda dipertahankan dalam toleransi ideal.

1. Pemrosesan lubang mikro

Lubang mikro pada elektroda silikon kristal tunggal memiliki jarak yang seragam dan diameter yang konsisten (berkisar antara 0,2 hingga 0,8 mm), dengan dinding bagian dalam yang halus dan bebas duri. Hal ini secara efektif menjamin pasokan gas etsa yang seragam dan stabil, sehingga menjamin keseragaman dan presisi etsa wafer.

2. Akurasi pemrosesan

Akurasi pemrosesan elektroda silikon kristal tunggal Semicorex dikontrol dalam 0,3 mm, dan presisi pemolesannya dapat dikontrol secara ketat di bawah 0,1 µm, dan penggilingan halus kurang dari 1,6 µm.