Sirip Silikon Karbida Padat

Semicorex padatsirip silikon karbidabiasanya dipasang sebagai komponen insulasi termal di dalam tabung tungku vertikal peralatan pengolahan termal semikonduktor, seperti tungku anil RTP dan tungku difusi. Sirip silikon karbida padat Semicorex dapat secara efektif mengatur distribusi suhu dalam tungku suhu tinggi dan meminimalkan kerusakan panas pada bagian penyegelan pintu proses yang disebabkan oleh suhu tinggi. Dalam kondisi operasi oksidasi basah, sirip silikon karbida padat Semicorex dapat digunakan untuk secara efektif mencegah dampak negatif pada hasil proses dan perangkat semikonduktor yang disebabkan oleh kondensasi uap air pada suhu proses yang relatif rendah.

Keunggulan sirip silikon karbida padat Semicorex

1. Ketahanan aus yang sangat baik

CVD SiC memiliki struktur kristal kubik polikristalin, dengan kekerasan luar biasa nomor dua setelah berlian. Ketahanan aus yang sangat baik pada sirip silikon karbida padat Semicorex disebabkan oleh sifat ini, membuatnya tahan terhadap abrasi selama penanganan dan penggantian.

2. Kapasitas manajemen termal yang unggul

CVD SiC memberikan ketahanan termal yang sangat baik dan stabilitas suhu tinggi, yang tidak meleleh atau melunak pada suhu hingga sekitar 2000°C dan menjaga stabilitasnya sebelum sublimasi suhu sangat tinggi. Berkat karakteristik termal yang unggul ini, sirip silikon karbida padat Semicorex sangat cocok untuk kondisi pemrosesan perlakuan panas semikonduktor yang menantang.

3. Kebersihan sangat tinggi

CVD-SiCdiproduksi tanpa sintering aditif selama proses pengendapan. Dibandingkan dengan silikon karbida terikat reaksi konvensional, kemurniannya jauh lebih tinggi, mencapai lebih dari 99,9995%. Hal ini secara efektif mencegah kontaminasi pengotor logam pada sirip silikon karbida padat Semicorex yang disebabkan oleh suhu tinggi di lingkungan proses, sehingga secara sempurna memenuhi persyaratan kebersihan manufaktur semikonduktor tingkat lanjut.

4. Ketahanan korosi yang andal

Sirip silikon karbida padat Semicorex dapat menahan gas proses yang sangat teroksidasi dan sangat asam yang digunakan dalam proses perlakuan panas semikonduktor, karena kelembaman kimia yang luar biasa dari CVD SiC pada suhu tinggi. Ketahanan terhadap korosi yang andal ini secara efektif memperpanjang masa pakainya, sehingga menurunkan biaya penggantian komponen.

5. Akurasi pemesinan yang tepat

Untuk memastikan kompatibilitas dengan tabung tungku yang berbeda, Semicorex dapat menyesuaikan sirip silikon karbida padat sesuai dengan kebutuhan pelanggan untuk diameter, ketebalan, ukuran lubang, kerataan, dan toleransi dimensi. Presisi pemesinan berstandar tinggi ini menjamin pengoperasian sirip yang stabil pada peralatan dan membantu mengoptimalkan efisiensi keseluruhan aplikasi perlakuan panas semikonduktor.