Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan.
Tantalum karbida (TaC) merupakan senyawa yang terdiri dari tantalum dan karbon. Ia memiliki konduktivitas listrik logam dan titik leleh yang sangat tinggi, menjadikannya bahan keramik tahan api yang dikenal karena kekuatan, kekerasan, serta ketahanan terhadap panas dan aus. Titik leleh Tantalum Karbida mencapai puncaknya sekitar 3880°C tergantung pada kemurniannya dan merupakan salah satu titik leleh tertinggi di antara senyawa biner. Hal ini menjadikannya alternatif yang menarik ketika tuntutan suhu yang lebih tinggi melebihi kemampuan kinerja yang digunakan dalam proses epitaksi semikonduktor majemuk seperti MOCVD dan LPE.
Data material Lapisan Semicorex TaC
Proyek |
Parameter |
Kepadatan |
14,3 (gram/cm³) |
Emisivitas |
0.3 |
KTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kekerasan (HK) |
2000 |
Resistansi (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Stabilitas Termal |
<2500℃ |
Perubahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai referensi) |
Ketebalan Lapisan |
≥20um nilai tipikal (35um±10um) |
|
|
Di atas adalah nilai-nilai tipikal |
|
Semicorex menyediakan Suku Cadang Grafit Dilapisi Tantalum Karbida berkualitas tinggi dengan layanan khusus. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex menyediakan Tantalum Carbide Coated Graphite Susceptor dengan layanan yang disesuaikan. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanGrafit Berpori Berlapis Semicorex TaC, adalah material dengan kemurnian tinggi yang canggih pada pemrosesan semikonduktor. Peralatan penting ini memainkan peran penting dalam proses pertumbuhan SiC kristal tunggal. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSebagai manufaktur profesional, kami ingin memberi Anda Cincin Dilapisi TaC. Memperkenalkan CVD Tac Coated Ring, solusi canggih untuk peralatan semikonduktor. Produk mutakhir ini memiliki lapisan deposisi uap kimia (CVD) canggih yang memberikan daya tahan dan ketahanan luar biasa terhadap keausan.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanMemperkenalkan wadah berlapis CVD Tac, solusi sempurna bagi produsen dan pengguna peralatan semikonduktor yang menginginkan tingkat kualitas dan kinerja tertinggi. Crucible kami dilapisi dengan lapisan CVD Tac (tantalum carbide) yang canggih, yang memberikan ketahanan unggul terhadap korosi dan keausan, menjadikannya ideal untuk digunakan dalam berbagai aplikasi semikonduktor.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan