Penerima Wafer

Susceptor wafer semicorex dirancang khusus untuk proses epitaksi semikonduktor. Ini memainkan peran penting dalam memastikan ketepatan dan efisiensi penanganan wafer. Kami adalah perusahaan terkemuka di industri semikonduktor Tiongkok, berkomitmen untuk menyediakan produk dan layanan terbaik bagi Anda.*

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Semicorex Wafer Susceptor dibuat secara ahli dari grafit dan dilapisi dengan silikon karbida (SiC) untuk memenuhi tuntutan kondisi manufaktur semikonduktor modern.

Dalam proses epitaksi, menjaga lingkungan yang stabil dan terkendali sangatlah penting. Wafer Susceptor berfungsi sebagai platform dasar tempat wafer ditempatkan selama pengendapan, memenuhi persyaratan yang tepat untuk keseragaman suhu, kelembaman kimia, dan kekuatan mekanik untuk mencapai lapisan epitaksi berkualitas tinggi.

Pemilihan grafit sebagai bahan dasar Wafer Susceptor didorong oleh konduktivitas termal dan sifat mekaniknya yang sangat baik. Kemampuan grafit untuk menahan suhu tinggi sambil menjaga integritas struktural sangat penting dalam lingkungan reaktor epitaksi bersuhu tinggi. Selain itu, konduktivitas termal grafit memastikan distribusi panas yang efisien ke seluruh wafer, mengurangi risiko gradien suhu yang dapat menyebabkan cacat pada lapisan epitaksial.

Untuk meningkatkan kinerja Wafer Susceptor, lapisan silikon karbida (SiC) diterapkan secara ahli pada dasar grafit. SiC adalah bahan yang sangat tahan lama dengan ketahanan kimia yang unggul, sehingga ideal untuk digunakan di lingkungan semikonduktor yang sering terdapat gas reaktif. Lapisan SiC memberikan penghalang pelindung yang melindungi grafit dari potensi reaksi kimia, memastikan umur panjang penerima wafer dan menjaga lingkungan bersih di dalam reaktor.

Semicorex Wafer Susceptor yang terbuat dari grafit berlapis SiC merupakan komponen yang sangat diperlukan dalam proses epitaksi semikonduktor. Kombinasi sifat termal dan mekanik grafit dengan stabilitas kimia dan termal silikon karbida menjadikannya cocok untuk tuntutan ketat manufaktur semikonduktor modern. Desain wafer tunggal menawarkan kontrol presisi atas proses epitaksi, sehingga berkontribusi pada produksi perangkat semikonduktor berkualitas tinggi. Susceptor ini memastikan bahwa wafer ditangani dengan sangat hati-hati dan presisi, sehingga menghasilkan lapisan epitaksi yang unggul dan produk semikonduktor yang berkinerja lebih baik.