Susceptor Reaktor Berlapis Karbida

Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor adalah produk grafit kualitas premium yang dilapisi dengan SiC dengan kemurnian tinggi, dirancang khusus untuk proses LPE. Dengan ketahanan panas dan korosi yang sangat baik, produk ini sangat cocok untuk digunakan dalam aplikasi manufaktur semikonduktor.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Jika Anda mencari susceptor grafit berperforma tinggi untuk pembentukan lapisan epitaxial pada wafer semikonduktor, Susceptor Barrel Reaktor Lapis Karbida Semicorex adalah pilihan yang sangat baik. Lapisan silikon karbidanya memberikan distribusi panas dan konduktivitas termal yang unggul, memastikan kinerja luar biasa bahkan di lingkungan bersuhu tinggi yang paling berat sekalipun.

Di Semicorex, kami fokus pada penyediaan susceptor barel reaktor berlapis karbida berkualitas tinggi dan hemat biaya, kami memprioritaskan kepuasan pelanggan dan memberikan solusi hemat biaya. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas tinggi dan layanan pelanggan yang luar biasa.

Parameter Susceptor Barel Reaktor Berlapis Karbida

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur kristal	FCC Î² fase
Kepadatan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran butir	Î¼m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 titik)	415
Modulus Muda	Gpa (tikungan 4pt, 1300â)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Susceptor Barel Reaktor Berlapis Karbida

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kepadatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik di lingkungan kerja bersuhu tinggi dan korosif.

- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.

- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.

- Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.