Susceptor Barel Reaktor Berlapis Karbida

Susceptor Barel Reaktor Berlapis Karbida Semicorex adalah produk grafit kualitas premium yang dilapisi dengan SiC dengan kemurnian tinggi, dirancang khusus untuk proses LPE. Dengan ketahanan panas dan korosi yang sangat baik, produk ini sangat cocok untuk digunakan dalam aplikasi manufaktur semikonduktor.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Jika Anda mencari susceptor grafit berkinerja tinggi untuk pembentukan lapisan epitaksial pada wafer semikonduktor, Susceptor Barel Reaktor Berlapis Karbida Semicorex adalah pilihan yang sangat baik. Lapisan silikon karbida memberikan distribusi panas dan konduktivitas termal yang unggul, memastikan kinerja luar biasa bahkan di lingkungan bersuhu tinggi yang paling menuntut sekalipun.

Di Semicorex, kami fokus pada penyediaan susceptor barel reaktor berlapis karbida berkualitas tinggi dan hemat biaya, kami memprioritaskan kepuasan pelanggan dan memberikan solusi hemat biaya. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas tinggi dan layanan pelanggan yang luar biasa.

Parameter Susceptor Barel Reaktor Berlapis Karbida

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	fase FCC β
Kepadatan	gram/cm³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Ukuran Butir	m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Felekural	MPa (RT 4 poin)	415
Modulus Young	IPK (tikungan 4pt, 1300℃)	430
Ekspansi Termal (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Susceptor Barel Reaktor Berlapis Karbida

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kepadatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik dalam suhu tinggi dan lingkungan kerja yang korosif.

- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.

- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.

-Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.