> Produk > Dilapisi silikon karbida > Suseptor Barel > Barel Susceptor Berlapis SiC untuk Ruang Reaktor LPE

Produk

produk baru

Barel Susceptor Berlapis SiC untuk Ruang Reaktor LPE

SiC-Coated Susceptor Barrel untuk LPE Reactor Chamber dari Semicorex adalah solusi yang sangat andal untuk proses pembuatan semikonduktor, menampilkan distribusi panas yang unggul dan sifat konduktivitas termal. Ini juga sangat tahan terhadap korosi, oksidasi, dan suhu tinggi.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

SiC-Coated Susceptor Barrel dari Semicorex untuk Ruang Reaktor LPE adalah produk berkualitas premium, diproduksi dengan standar presisi dan daya tahan tertinggi. Ini menawarkan konduktivitas termal yang sangat baik, ketahanan korosi, dan sangat cocok untuk aplikasi LPE dalam manufaktur semikonduktor.

Barel Susceptor Berlapis SiC kami untuk Ruang Reaktor LPE dirancang untuk mencapai pola aliran gas laminar terbaik, memastikan kemerataan profil termal. Ini membantu mencegah kontaminasi atau difusi pengotor, memastikan pertumbuhan epitaxial berkualitas tinggi pada chip wafer.

Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang SiC-Coated Susceptor Barrel kami untuk Ruang Reaktor LPE.

Parameter Barel Susceptor Berlapis SiC untuk Bilik Reaktor LPE

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur kristal	FCC Î² fase
Kepadatan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran butir	Î¼m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 titik)	415
Modulus Muda	Gpa (tikungan 4pt, 1300â)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Barel Susceptor Berlapis SiC untuk Ruang Reaktor LPE

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kerapatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik di lingkungan kerja bersuhu tinggi dan korosif.

- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.

- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.

- Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.