Susceptor Barel Dilapisi Silikon Karbida SiC

Semicorex adalah produsen independen terkemuka dari Silicon Carbide SiC Coated Barrel Susceptor, Precision Machined High Purity Graphite yang berfokus pada Silicon Carbide Coated Graphite, Silicon Carbide Ceramic, area MOCVP manufaktur semikonduktor. Silicon Carbide SiC Coated Barrel Susceptor kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

SemicorexSusceptor Barel Dilapisi Silikon Karbida SiCadalah produk grafit yang dilapisi dengan SiC dengan kemurnian tinggi, yang memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi. Sangat cocok untuk LPE. ItuSilikon KarbidaSusceptor Barrel Dilapisi SiC digunakan dalam proses yang membentuk lapisan epiksial pada wafer semikonduktor, yang memiliki konduktivitas termal tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.

Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang kamiSilikon KarbidaSuseptor Barel Dilapisi SiC.

Parameter dariDilapisi Silikon Karbida SiCPenerima Barel

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	Fase FCC β
Kepadatan	gram/cm³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Ukuran Butir	μm	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Felekural	MPa (RT 4 poin)	415
Modulus Young	IPK (tikungan 4pt, 1300℃)	430
Ekspansi Termal (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur dariDilapisi Silikon Karbida SiCPenerima Barel

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kepadatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik dalam suhu tinggi dan lingkungan kerja yang korosif.

- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.

- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.

-Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.