Barel Reaktor Epitaksi Berlapis SiC Semicorex adalah produk grafit berkualitas tinggi yang dilapisi dengan SiC dengan kemurnian tinggi. Kepadatan dan konduktivitas termalnya yang luar biasa menjadikannya pilihan ideal untuk digunakan dalam proses LPE, memberikan distribusi dan perlindungan panas yang luar biasa di lingkungan korosif dan bersuhu tinggi.
Dalam hal manufaktur semikonduktor, Barel Reaktor Epitaksi Berlapis SiC Semicorex adalah pilihan tepat untuk kinerja unggul dan distribusi panas yang luar biasa. Dilapisi dengan SiC dengan kemurnian tinggi, produk grafit ini memberikan ketahanan terhadap korosi dan panas yang luar biasa, memastikan hasil yang andal dan konsisten setiap saat.
Di Semicorex, kami fokus pada penyediaan produk berkualitas tinggi dan hemat biaya kepada pelanggan kami. Barel Reaktor Epitaksi Berlapis SiC kami memiliki keunggulan harga dan diekspor ke banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami bertujuan untuk menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk dengan kualitas yang konsisten dan layanan pelanggan yang luar biasa.
Parameter Barel Reaktor Epitaksi Dilapisi SiC
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur Kristal |
fase FCC β |
|
Kepadatan |
gram/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran Butir |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas Panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Felekural |
MPa (RT 4 poin) |
415 |
Modulus Young |
IPK (tikungan 4pt, 1300℃) |
430 |
Ekspansi Termal (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur Barel Reaktor Epitaksi Berlapis SiC
- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kepadatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik dalam suhu tinggi dan lingkungan kerja yang korosif.
- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.
- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.
- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.
-Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.