Semicorex adalah produsen dan pemasok SiC Coated Barrel Susceptor berskala besar di Tiongkok. Kami fokus pada industri semikonduktor seperti lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi. Produk kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda.
SemicorexSuseptor Barel Dilapisi SiCadalah pembawa grafit berlapis SiC dengan kemurnian tinggi, digunakan dalam proses untuk menumbuhkan lapisan epitaksi pada chip wafer, yang cocok untuk banyak reaktor epitaksi. Ini memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas besar di lingkungan ekstrim.
KitaDilapisi SiCBarrel Susceptor juga tahan terhadap oksidasi dan korosi suhu tinggi, menjadikannya produk yang andal dan tahan lama. Titik lelehnya yang tinggi memastikan bahwa ia dapat tahan terhadap lingkungan bersuhu tinggi yang diperlukan untuk produksi semikonduktor yang efisien.
Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang kamiDilapisi SiCPenerima Barel
Parameter dariDilapisi SiCPenerima Barel
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur Kristal |
Fase FCC β |
|
Kepadatan |
gram/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran Butir |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas Panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Felekural |
MPa (RT 4 poin) |
415 |
Modulus Young |
IPK (tikungan 4pt, 1300℃) |
430 |
Ekspansi Termal (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur dariDilapisi SiCPenerima Barel
- Hindari mengelupas dan pastikan melapisi seluruh permukaan
Ketahanan oksidasi suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi hingga 1600°C
Kemurnian tinggi: dibuat dengan deposisi uap kimia CVD dalam kondisi klorinasi suhu tinggi.
Ketahanan korosi: kekerasan tinggi, permukaan padat dan partikel halus.
Ketahanan korosi: asam, alkali, garam dan reagen organik.
- Mencapai pola aliran gas laminar terbaik
- Menjamin kemerataan profil termal
- Mencegah penyebaran kontaminasi atau kotoran