Susceptor Barel Dilapisi Silikon Karbida

Semicorex Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor adalah produk grafit berkualitas tinggi yang dilapisi dengan SiC dengan kemurnian tinggi, menawarkan ketahanan panas dan korosi yang luar biasa. Ini dirancang khusus untuk aplikasi LPE di industri manufaktur semikonduktor.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

KitaSusceptor Barel Dilapisi Silikon Karbidadari Semicorex adalah solusi ideal untuk menumbuhkan kristal tunggal di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif.

Di Semicorex, kami fokus pada penyediaan produk berkualitas tinggi dan hemat biayadilapisi silikon karbidabarel susceptor, kami mengutamakan kepuasan pelanggan dan memberikan solusi hemat biaya. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas tinggi dan layanan pelanggan yang luar biasa.

Parameter dariDilapisi Silikon KarbidaPenerima Barel

Spesifikasi Utama dariLapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	fase FCC β
Kepadatan	gram/cm³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Ukuran Butir	m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Felekural	MPa (RT 4 poin)	415
Modulus Young	IPK (tikungan 4pt, 1300℃)	430
Ekspansi Termal (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur dariDilapisi Silikon KarbidaPenerima Barel

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kepadatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik dalam suhu tinggi dan lingkungan kerja yang korosif.

- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.

- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.

-Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.