Tabung Tungku Difusi

Tabung tungku difusi biasanya terbuat dari kuarsa atau SiC dengan kemurnian tinggi, keduanya menunjukkan stabilitas termal yang luar biasa dan ketahanan terhadap reaksi kimia. Hal ini penting karena tabung tungku difusi tidak boleh memasukkan pengotor ke dalam bahan semikonduktor yang sedang diproses. Bahkan pengotor sekecil apa pun dapat mempunyai efek merugikan yang signifikan terhadap kinerja dan keandalan perangkat semikonduktor yang dibuat.

Bahan yang digunakan dalam pembuatan tabung tungku difusi dipilih karena kemurniannya yang tinggi untuk mencegah kontaminasi wafer semikonduktor selama pemrosesan. Tabung tungku difusi tahan terhadap suhu ekstrem yang ditemui selama pemrosesan semikonduktor tanpa merusak atau mengurangi integritas strukturalnya. Hal ini memastikan kinerja yang konsisten dan andal selama periode pengoperasian yang lama. Selain stabilitas termal, tabung tungku difusi juga menunjukkan ketahanan terhadap efek korosif bahan kimia dan gas yang digunakan dalam pemrosesan semikonduktor. Hal ini mencegah degradasi tabung dari waktu ke waktu dan memastikan umur panjang.

Beberapa tabung tungku difusi mungkin dilengkapi lapisan yang terbuat dari bahan khusus untuk lebih meningkatkan kinerjanya atau memberikan perlindungan tambahan terhadap kontaminasi atau reaksi kimia. Lapisan ini dipilih secara cermat untuk melengkapi sifat bahan tabung dan persyaratan spesifik proses fabrikasi semikonduktor.