Susceptor Barel Berlapis SiC yang Tahan Lama

Dengan kepadatan dan konduktivitas termal yang sangat baik, Susceptor Barrel Berlapis SiC Tahan Lama Semicorex adalah pilihan ideal untuk digunakan dalam proses epitaksi dan aplikasi manufaktur semikonduktor lainnya. Lapisan SiC dengan kemurnian tinggi memberikan perlindungan unggul dan sifat distribusi panas, menjadikannya pilihan tepat untuk hasil yang andal dan konsisten.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Jika Anda membutuhkan susceptor grafit berkualitas tinggi dengan ketahanan panas dan korosi yang unggul, Anda bisa memilih Susceptor Barel Berlapis SiC Tahan Lama Semicorex. Lapisan silikon karbida memberikan konduktivitas termal dan distribusi panas yang luar biasa, memastikan kinerja yang andal dan konsisten bahkan di lingkungan bersuhu tinggi yang paling menuntut sekalipun.
Susceptor Barel Berlapis SiC Tahan Lama kami dirancang untuk mencapai pola aliran gas laminar terbaik, memastikan kemerataan profil termal. Hal ini membantu mencegah penyebaran kontaminasi atau kotoran, memastikan pertumbuhan epitaksi berkualitas tinggi pada chip wafer.
Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang Susceptor Barel Berlapis SiC yang Tahan Lama.

Parameter Susceptor Barel Berlapis SiC yang Tahan Lama

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	fase FCC β
Kepadatan	gram/cm³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Ukuran Butir	μm	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Felekural	MPa (RT 4 poin)	415
Modulus Young	IPK (tikungan 4pt, 1300℃)	430
Ekspansi Termal (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Susceptor Barel Berlapis SiC yang Tahan Lama

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kepadatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik dalam suhu tinggi dan lingkungan kerja yang korosif.

- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.

- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.

-Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.