Jika Anda mencari susceptor grafit berkualitas tinggi yang dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi, Semicorex Barrel Susceptor dengan Lapisan SiC dalam Semikonduktor adalah pilihan yang tepat. Konduktivitas termal dan sifat distribusi panasnya yang luar biasa menjadikannya ideal untuk digunakan dalam aplikasi manufaktur semikonduktor.
Semicorex Barrel Susceptor dengan Lapisan SiC dalam Semikonduktor adalah produk grafit kualitas premium yang dilapisi dengan SiC dengan kemurnian tinggi, menjadikannya pilihan ideal untuk digunakan di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif. Kepadatan dan konduktivitas termalnya yang sangat baik memberikan distribusi dan perlindungan panas yang luar biasa dalam aplikasi manufaktur semikonduktor.
Di Semicorex, kami fokus pada penyediaan produk berkualitas tinggi dan hemat biaya kepada pelanggan kami. Barrel Susceptor kami dengan Lapisan SiC di Semikonduktor memiliki keunggulan harga dan diekspor ke banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami bertujuan untuk menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk dengan kualitas yang konsisten dan layanan pelanggan yang luar biasa.
Parameter Barrel Susceptor dengan Lapisan SiC pada Semikonduktor
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur Kristal |
fase FCC β |
|
Kepadatan |
gram/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran Butir |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas Panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Felekural |
MPa (RT 4 poin) |
415 |
Modulus Young |
IPK (tikungan 4pt, 1300℃) |
430 |
Ekspansi Termal (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur Barrel Susceptor dengan Lapisan SiC di Semikonduktor
- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kepadatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik dalam suhu tinggi dan lingkungan kerja yang korosif.
- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.
- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.
- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.
-Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.