LPE Barrel Susceptor dengan SiC Coating

Jika Anda mencari susceptor grafit berkualitas tinggi yang dilapisi dengan SiC dengan kemurnian tinggi, Susceptor Barrel Semicorex LPE dengan Lapisan SiC adalah pilihan yang tepat. Sifat konduktivitas termal dan distribusi panasnya yang luar biasa menjadikannya ideal untuk digunakan dalam aplikasi manufaktur semikonduktor.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Semicorex LPE Barrel Susceptor dengan Lapisan SiC adalah produk grafit kualitas premium yang dilapisi dengan SiC dengan kemurnian tinggi, menjadikannya pilihan ideal untuk digunakan di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif. Kepadatan dan konduktivitas termalnya yang sangat baik memberikan distribusi dan perlindungan panas yang luar biasa dalam aplikasi manufaktur semikonduktor.

Di Semicorex, kami fokus untuk menyediakan produk berkualitas tinggi dan hemat biaya kepada pelanggan kami. Susceptor LPE Barrel kami dengan Lapisan SiC memiliki keunggulan harga dan diekspor ke banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami bertujuan untuk menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas yang konsisten dan layanan pelanggan yang luar biasa.

Parameter LPE Barrel Susceptor dengan Lapisan SiC

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur kristal	FCC Î² fase
Kepadatan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran butir	Î¼m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 titik)	415
Modulus Muda	Gpa (tikungan 4pt, 1300â)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur LPE Barrel Susceptor dengan SiC Coating

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki kerapatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik di lingkungan kerja bersuhu tinggi dan korosif.

- Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi.

- Mengurangi perbedaan koefisien ekspansi termal antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan untuk mencegah retak dan delaminasi.

- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.

- Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.